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温控器/高性能变频型 HRZ
温控器 » 温控器（循环液温控装置）产业用通信元件/无线系统 » 其他 对应RS232C的元件
产业用通信元件/无线系统 » 其他 对应RS485的元件
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・在HRZ系列的高性能基础上，采用了DC变频压缩机，实现了节能
・温度范围和冷却能力范围大
・用于刷新循环块的半导体装置等，可平缓地对应过程条件的变化
・符合UL, SEMI规格及CE标识
※提供样机试用服务
请与最近的营业所联系
营业所一览
| 系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZ | －20～90℃ 10～60℃ | 10kW | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 清水 脱离子水（纯水） 乙二醇水溶液（60％） |
免电池 绝对增量型编码器
电动摆台 LER
电动执行器/电缸 » 无电池、绝对增量编码器型
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・可从停止位置重新开始动作
・恢复供电后可以停止位置重新启动
即使电源切断编码器也可保存位置的信息，
因此，电源恢复后无需进行原点复位
・免电池，更便于维护
由于无需保存位置信息用的电池，
故不必进行备用电池的管理及维护更换等
・摆动角度320º、180º、90º
・电机内置，省空间
・无冲击，高速驱动
最大速度：420º/sec
最大加减速度：3000º/sec2
注）带外部限位器的值
・对应控制器／驱动器：JXC□LEC□
| 系列 | 回转 力矩 ［N・m］ 基本型 | 回转 力矩 ［N・m］ 大转矩型 | 最大速度 ［º/s］ 基本 | 最大速度 ［º/s］ 大转矩型 | 重复し 定位精度 ［º］ 基本型 | 重复 定位精度 ［º］ 大转矩型 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| LER50 | 6.6 | 10 | LER50 | 280 | ±0.05 （终端：±0.01）注） | ±0.05 （终端：±0.01）注） |
耐环境3爪型气爪 MHS3-X6708□
摆动气缸/气爪 » 气爪（平行开闭型）
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・对应水滴、粉尘环境
10倍以上的耐久性（在水滴飞散环境中，与标准品比较）
・可根据用途（环境）选择防尘圈、润滑油护圈
・连接部件位置的再现性提升
・可安装无触点磁性开关
适合磁性开关：D-M9□型
| 形式 | 系列 | 缸筒内径（mm） |
|---|---|---|
| 耐环境 | MHS3-X6708□ | 32、63 |
薄型气缸、省空气型/多边形活塞正方形气缸 CDQ2B-X3205
气缸 » 紧凑型气缸
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・内置排气回收回路，采用多边形活塞，实现了小型、轻量化
・空气消耗量：最多减少46％
・将压出侧的空气引至吸入侧，实现空气再利用
（内置排气回收回路）
・仅配管即可实现省空气
・小型（采用多边形活塞）
宽：减小13％※、高：缩短11％※、全长：缩短11％※
※与CDQ2、ø32, 10行程的相比
| 形式 | 系列 | 动作方式 | 缸筒内径（mm） |
|---|---|---|---|
| 标准型 | CDQ2B-X3205 | 单杆双作用 | 32，40，50 |
4·5通电磁阀 VZ1000/3000/5000
方向控制元件 » 先导式4、5通电磁阀
| 系列 | 流量特性 4/2→5/3 (A/B→EA/EB) C［dm3/（s・bar）］ | 流量特性 4/2→5/3 (A/B→EA/EB) b | 流量特性 4/2→5/3 (A/B→EA/EB) Cv | 气缸驱动 尺寸 | 消耗功率（W） |
|---|---|---|---|---|---|
| VZ1000 | 有效截面积：0.9mm2 | 有效截面积：0.9mm2 | 有效截面积：0.9mm2 | φ20 | 1.8 |
| VZ3000 | 0.83 | 0.32 | 0.21 | φ40 | 1.8 |
| VZ5000 | 2.9 | 0.35 | 0.94 | φ63 | 1.8 |
协作机器人专用气爪/3爪型 RMHS3
摆动气缸/气爪 » 协作机器人用气爪摆动气缸/气爪 » 气爪（平行开闭型）
协作机器人专用夹爪 » 气爪
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・将气爪及其驱动元件集成为1个单元
仅需连接1根供气管和1根电气配线即可工作
内置电磁阀、带消音器节流阀、磁性开关、管接头等
・对应12家公司的协作机器人
UNIVERSAL ROBOTS, OMRON/TECHMAN ROBOT, FANUC,
YASKAWA Electric, Mitsubishi Electric, HAN’S ROBOT, KUKA,
DOOSAN ROBOTICS,SIASUN, JAKA, AUBO, ABB
・标配有手动更换机构
简单操作，即可更换工具，可减少工时
・空气消耗量最多减少80%
・适合圆筒形工件的轴向夹持
| 系列 | 爪数 | 外径夹持力（N） | 内径夹持力（N） | 开闭行程（两侧）（mm） |
|---|---|---|---|---|
| RMHS3 | 3 | 118 | 130 | 8 |
双温控器/高性能变频型 HRZD
温控器 » 温控器（循环液温控装置）产业用通信元件/无线系统 » 其他 对应RS232C的元件
产业用通信元件/无线系统 » 其他 对应RS485的元件
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・1台深冷器可分别控制2个系統
・双变频器：DC变频冷冻机与变频泵实现了大幅节能
・省空间：设置面积减小23％
・省配线、省空间、省工时：电源线缆只有1根，冷却水配管仅有1个系統
・符合SEMI规格、CE标识
※提供样机试用服务
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营业所一览
| 系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZD | －30～90℃ | 9.5kW×2 | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 乙二醇水溶液（60％） |
