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免电池 绝对增量型编码器
电动摆台 LER
电动执行器/电缸 » 无电池、绝对增量编码器型-
・可从停止位置重新开始动作
・恢复供电后可以停止位置重新启动
即使电源切断编码器也可保存位置的信息,
因此,电源恢复后无需进行原点复位
・免电池,更便于维护
由于无需保存位置信息用的电池,
故不必进行备用电池的管理及维护更换等
・摆动角度320º、180º、90º
・电机内置,省空间
・无冲击,高速驱动
最大速度:420º/sec
最大加减速度:3000º/sec2
注)带外部限位器的值
・对应控制器/驱动器:JXC□LEC□
系列 | 回转 力矩 [N・m] 基本型 | 回转 力矩 [N・m] 大转矩型 | 最大速度 [º/s] 基本 | 最大速度 [º/s] 大转矩型 | 重复し 定位精度 [º] 基本型 | 重复 定位精度 [º] 大转矩型 |
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LER50 | 6.6 | 10 | LER50 | 280 | ±0.05 (终端:±0.01)注) | ±0.05 (终端:±0.01)注) |
耐环境3爪型气爪 MHS3-X6708□
摆动气缸/气爪 » 气爪(平行开闭型)
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・对应水滴、粉尘环境
10倍以上的耐久性(在水滴飞散环境中,与标准品比较)
・可根据用途(环境)选择防尘圈、润滑油护圈
・连接部件位置的再现性提升
・可安装无触点磁性开关
适合磁性开关:D-M9□型
形式 | 系列 | 缸筒内径(mm) |
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耐环境 | MHS3-X6708□ | 32、63 |
薄型气缸、省空气型/多边形活塞正方形气缸 CDQ2B-X3205
气缸 » 紧凑型气缸
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・内置排气回收回路,采用多边形活塞,实现了小型、轻量化
・空气消耗量:最多减少46%
・将压出侧的空气引至吸入侧,实现空气再利用
(内置排气回收回路)
・仅配管即可实现省空气
・小型(采用多边形活塞)
宽:减小13%※、高:缩短11%※、全长:缩短11%※
※与CDQ2、ø32, 10行程的相比
形式 | 系列 | 动作方式 | 缸筒内径(mm) |
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标准型 | CDQ2B-X3205 | 单杆双作用 | 32,40,50 |
4·5通电磁阀 VZ1000/3000/5000
方向控制元件 » 先导式4、5通电磁阀
系列 | 流量特性 4/2→5/3 (A/B→EA/EB) C[dm3/(s・bar)] | 流量特性 4/2→5/3 (A/B→EA/EB) b | 流量特性 4/2→5/3 (A/B→EA/EB) Cv | 气缸驱动 尺寸 | 消耗功率(W) |
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VZ1000 | 有效截面积:0.9mm2 | 有效截面积:0.9mm2 | 有效截面积:0.9mm2 | φ20 | 1.8 |
VZ3000 | 0.83 | 0.32 | 0.21 | φ40 | 1.8 |
VZ5000 | 2.9 | 0.35 | 0.94 | φ63 | 1.8 |
协作机器人专用气爪/3爪型 RMHS3
摆动气缸/气爪 » 协作机器人用气爪摆动气缸/气爪 » 气爪(平行开闭型)
协作机器人专用夹爪 » 气爪

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・将气爪及其驱动元件集成为1个单元
仅需连接1根供气管和1根电气配线即可工作
内置电磁阀、带消音器节流阀、磁性开关、管接头等
・对应12家公司的协作机器人
UNIVERSAL ROBOTS, OMRON/TECHMAN ROBOT, FANUC,
YASKAWA Electric, Mitsubishi Electric, HAN’S ROBOT, KUKA,
DOOSAN ROBOTICS,SIASUN, JAKA, AUBO, ABB
・标配有手动更换机构
简单操作,即可更换工具,可减少工时
・空气消耗量最多减少80%
・适合圆筒形工件的轴向夹持
系列 | 爪数 | 外径夹持力(N) | 内径夹持力(N) | 开闭行程(两侧)(mm) |
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RMHS3 | 3 | 118 | 130 | 8 |
双温控器/高性能变频型 HRZD
温控器 » 温控器(循环液温控装置)产业用通信元件/无线系统 » 其他 对应RS232C的元件
产业用通信元件/无线系统 » 其他 对应RS485的元件

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・1台深冷器可分别控制2个系統
・双变频器:DC变频冷冻机与变频泵实现了大幅节能
・省空间:设置面积减小23%
・省配线、省空间、省工时:电源线缆只有1根,冷却水配管仅有1个系統
・符合SEMI规格、CE标识
※提供样机试用服务
请与最近的营业所联系
营业所一览
系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRZD | -30~90℃ | 9.5kW×2 | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 乙二醇水溶液(60%) |
真空减压阀 IRV
真空用元件 » 真空减压阀F.R.L组件/压力控制元件 » 减压阀
压力控制元件 » 减压阀

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・可控制真空气路的压力。
・全系列都有一面配管规格。
・质量减小20%(与以前产品相比)。
・内置快换管接头。
・压力计、数字式压力开关采用卡子固定,拆装容易。
・压力计、数字式压力开关的安装方向可变更(尽标准配管规格)。
・压力计、数字式压力开关的安装角度(以60°为一个单位)容易变更。
系列 | 连接口径 | 设定压力范围(kPa) |
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IRV10 | φ6,φ8,φ1/4,φ5/16 | -100~-1.3 |
IRV20 | φ6,φ8,φ10,φ1/4,φ5/16,φ3/8 | -100~-1.3 |