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薄型气缸/省空气型 CDQ2B-X3150
气缸 » 紧凑型气缸
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・空气消耗量：最多削减46%
・将压出侧的空气引至吸入侧，实现空气再利用
（内置排气回收回路）
・仅配管即可实现省空气
・外形尺寸、安装尺寸与现行产品CDQ2系列相同
※仅支持通孔型安装
| 形式 | 系列 | 动作方式 | 缸筒内径（mm） |
|---|---|---|---|
| 标准型 | CDQ2B-X3150 | 单杆双作用 | 32，40，50 |
3通电磁阀／直动型 VS3115/3110/3135/3145
方向控制元件 » 直动式3、4、5通电磁阀
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・直动式电磁阀。
・主阀为金属密封构造。
・0MPa的压力下即可使用。
・可攻击不同的压力。
・集装型号：VVS310，VVS311
※VS3110/3115/3135/3145(AC线圈)将于2024年９月停产。
VS3110/3115请选择VP342/VP344、VS3135请选择VP742、VS3145请选择VG342。
| 系列 | 流量特性 A→E C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 A→E b | 流量特性 A→E Cv | 消耗功率（W） |
|---|---|---|---|---|
| VS3115 | 3.6 | 0.34 | 0.88 | 5.5 |
| VS3110 | 3.6 | 0.18 | 0.82 | 5.5 |
| VS3135 | 9.0 | 0.3 | 2.4 | 13.2 |
| VS3145 | 15 | 0.46 | 4.5 | 24.0 |
5通电磁阀／盒型集装式 SZ3000
方向控制元件 » 先导式4、5通电磁阀
| 系列 | 流量特性 4/2→3（A/B→R） C［dm3/（s・bar）］ | 流量特性 4/2→3（A/B→R） b | 流量特性 4/2→3（A/B→R） Cv | 气缸 驱动 尺寸 | 消耗功率（W） |
|---|---|---|---|---|---|
| SZ3000 | 0.77 | 0.19 | 0.19 | φ32 | 0.6 |
温控器/高性能变频型 HRZ
温控器 » 温控器（循环液温控装置）产业用通信元件/无线系统 » 其他 对应RS232C的元件
产业用通信元件/无线系统 » 其他 对应RS485的元件
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・在HRZ系列的高性能基础上，采用了DC变频压缩机，实现了节能
・温度范围和冷却能力范围大
・用于刷新循环块的半导体装置等，可平缓地对应过程条件的变化
・符合UL, SEMI规格及CE标识
※提供样机试用服务
请与最近的营业所联系
营业所一览
| 系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZ | －20～90℃ 10～60℃ | 10kW | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 清水 脱离子水（纯水） 乙二醇水溶液（60％） |
免电池 绝对增量型编码器
电动摆台 LER
电动执行器/电缸 » 无电池、绝对增量编码器型
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・可从停止位置重新开始动作
・恢复供电后可以停止位置重新启动
即使电源切断编码器也可保存位置的信息，
因此，电源恢复后无需进行原点复位
・免电池，更便于维护
由于无需保存位置信息用的电池，
故不必进行备用电池的管理及维护更换等
・摆动角度320º、180º、90º
・电机内置，省空间
・无冲击，高速驱动
最大速度：420º/sec
最大加减速度：3000º/sec2
注）带外部限位器的值
・对应控制器／驱动器：JXC□LEC□
| 系列 | 回转 力矩 ［N・m］ 基本型 | 回转 力矩 ［N・m］ 大转矩型 | 最大速度 ［º/s］ 基本 | 最大速度 ［º/s］ 大转矩型 | 重复し 定位精度 ［º］ 基本型 | 重复 定位精度 ［º］ 大转矩型 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| LER50 | 6.6 | 10 | LER50 | 280 | ±0.05 （终端：±0.01）注） | ±0.05 （终端：±0.01）注） |
耐环境3爪型气爪 MHS3-X6708□
摆动气缸/气爪 » 气爪（平行开闭型）
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・对应水滴、粉尘环境
10倍以上的耐久性（在水滴飞散环境中，与标准品比较）
・可根据用途（环境）选择防尘圈、润滑油护圈
・连接部件位置的再现性提升
・可安装无触点磁性开关
适合磁性开关：D-M9□型
| 形式 | 系列 | 缸筒内径（mm） |
|---|---|---|
| 耐环境 | MHS3-X6708□ | 32、63 |
