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高真空阀

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铝制高真空L型阀 XLA/C/F/G

产品特点
    ・采用铝制主体
    　均一的烤焙温度
    　轻量·紧凑
    　气体溢出少
    　重金属污染少
    ・可更换波纹管
安全注意事项　特定开发品信息　磁性开关规格　环保认证(RoHS)
系列操作方式阀形式轴密封
方式		用途法兰
尺寸
XLA-2气控式单作用
（N.C.）		波纹管密封无尘
清洁化		16～80
XLAV-2（带电磁阀）气控式单作用
（N.C.）		波纹管密封无尘
清洁化		16～80
XLC-2气控式双作用波纹管密封无尘
清洁化		16～80
XLF-2气控式单作用
（N.C.）		O形圈密封高速动作
高动作次数		16～80
XLFV-2（带电磁阀）气控式单作用
（N.C.）		O形圈密封高速动作
高动作次数		16～80
XLG-2气控式双作用O形圈密封高速动作
高动作次数		16～80

铝材质高真空L型阀 XLA/C-100・160（-1）-X152

    ・波纹管耐久性提升（法兰尺寸100、160）
    ・寿命：200万次
    ・可实现装置的省空间化
    　无排气方向限制(阀体侧←→波纹管侧 两方向均可)
    　安装姿势的自由度提升
    ・轻量、紧凑
安全注意事项　特定开发品信息　磁性开关规格　环保认证(RoHS)
系列操作方式阀形式轴密封方式用途法兰尺寸
LA-100・160-X152气控式单作用
（N.C.）		波纹管密封无尘
清洁化		100，160
XLC-100・160-1-X152气控式双作用波纹管密封无尘
清洁化		100，160

铝制高真空L型阀 XL□

产品特点
    ・耐氟性强
    ・气体溢出少
    ・重金属污染小

    ※法兰尺寸16〜80的XLA/C/F/G已进行了产品变更。
    　 请选择XLA-2/XLC-2/XLF-2/XLG-2系列。
安全注意事项　系统构成/扩展品　特定开发品信息　磁性开关规格　环保认证(RoHS)
系列操作方式阀形式轴密封
方式		用途法兰
尺寸
XLA气控式单作用
（N.C.）		波纹管密封无尘
清洁化		16～160
XLAV（带电磁阀）气控式单作用
（N.C.）		波纹管密封无尘
清洁化		16～160
XLC气控式双作用波纹管密封无尘
清洁化		16～160
XLCV（带电磁阀）气控式双作用波纹管密封无尘
清洁化		16～80
XLF气控式单作用
（N.C.）		O形圈密封高速动作
高动作次数		16～160
XLFV（带电磁阀）气控式单作用
（N.C.）		O形圈高速动作
高动作次数		16～160
XLG气控式双作用O形圈高速动作
高动作次数		16～160
XLGV（带电磁阀）气控式双作用O形圈高速动作
高动作次数		16～80
XLD气控式单作用
（N.C.）		波纹管密封
O形圈密封		防止扬尘
防止泵过载		25～160
XLDV（带电磁阀）气控式单作用
（N.C.）		波纹管密封
O形圈密封		防止扬尘
防止泵过载		25～160
XLH手动式手动波纹管密封无尘
清洁化		16～50
XLS电磁式单作用
（N.C.）		(波纹管平衡)无需空气
可搬运装置用		16，25

铝制快速装卸型 高真空L型阀 XLAQ・XLDQ

    ・快速装卸（无需工具）。
安全注意事项　系统构成/扩展品　特定开发品信息　磁性开关规格　环保认证(RoHS)
系列操作方式轴密封
方式		阀形式材质法兰
尺寸
XLAQ气控式波纹管密封单作用
（N.C.）		主体：铝
波纹管：SUS316L		16～50
XLDQ气控式波纹管密封
O形圈密封		单作用
（N.C.）		主体：铝
波纹管：SUS316L		40，50

不锈钢制高真空L型／直通型阀 XM/XY

    ・不滞留气体的精密铸造一体结构
    ・与铝制高真空L型阀XL系列有安装互换性（XM系列）

    注）直线型无尺寸16。
安全注意事项　系统构成/扩展品　特定开发品信息　磁性开关规格　环保认证(RoHS)
系列操作方式轴密封
方式		阀形式材质法兰
尺寸
XMA/XYA气控式波纹管密封单作用
（N.C.）		主体：SCS13（相当于SUS304）
波纹管：SUS316L		16～80 注）
XMC/XYC气控式波纹管密封双作用主体：SCS13（相当于SUS304）
波纹管：SUS316L		16～80 注）
XMD/XYD气控式波纹管密封
O形圈密封		单作用
（N.C.）		主体：SCS13（相当于SUS304）
波纹管：SUS316L		25～80
XMH/XYH气控式波纹管密封手动主体：SCS13（相当于SUS304）
波纹管：SUS316L		16～50 注）

常闭型高真空电磁阀 XSA

产品特点
    ・最低使用压力：1×10-6Pa(abs)
    ・泄漏量：内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s
    ・备有2种接头、内螺纹
    ・消耗功率：最大减少25%
    ・重量：最大减轻18%　0.5kg→0.41kg
安全注意事项　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列阀形式使用流体配管连接方式配管尺寸
XSA常闭空气
惰性气体		面密封接头
卡套式接头		1/4, 3/8
XSA常闭空气
惰性气体		Rc, NPT内螺纹1/8, 1/4, 3/8

平稳通气阀 XVD

    ・阀和针阀一体化的结构，配管空间减少1/4（与以前产品相比）
    ・密封部采用金属膜片，微粒大幅减少
    ・可同时对初期供气、主供气进行流量调整
安全注意事项　系统构成/扩展品　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列阀形式使用流体配管连接方式配管尺寸
XVD常闭
（加压打开・弹簧密封）		氮气、空气、
惰性气体等		VCR®
Swagelok®		1/4B

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