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温控器(循环液温控装置)高性能型

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符合欧盟F-Gas(含氟气体)法规的冷冻式温控器 HRZ-F

    ・采用DC变频式压缩机和变频泵实现更大幅度的节能
    ・节能
     按照客户设备的负载, 对压缩机、泵的电机回转数进行变频控制
     消耗功率:Max65%削減
     冷却水量:Max67%削減
    ・高性能
     温度稳定性:±0.1℃(负载稳定时)
     冷却时间:最多缩短46%(与本公司产品相比)
    ・使用冷媒:R410A(HFC)/R448A(HFC/HFO)
系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液
HRZ-F-20~40℃
10~60℃
-20~90℃
2kW, 4kW
8kW, 10kW
±0.1℃水冷冷冻式氟化液
乙二醇水溶液
清水及去离子水(纯水)

水冷式温控器/高性能型 HRW

    ・与工厂内循环水直接热交换
    ・适合在不需要制冷的范围内温控时使用
    ・具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置,
     在半导体过程控制装置上成果较多
    ・符合UL、SEMI标准、CE认证
    ・可选择变频型

    ※提供样机试用服务
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  • 水冷式温控器/高性能型 HRW
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    HRW2kW, 8kW
    15kW, 30kW
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  • 水冷式温控器/高性能型 HRW
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    HRW2kW, 8kW
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系列设定温度
范围
冷却能力温度
稳定性
冷却方式循环液
HRW20~90℃2kW, 8kW
15kW, 30kW
±0.3℃水冷却式
(无压缩机)
氟化液
清水
脱离子水(纯水)
乙二醇水溶液(60%)

温控器/高性能型 HRZ

    ・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能,广泛用于半导体行业
    ・符合各种安全规格
    ・符合UL, SEMI规格以及CE标识

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  • 温控器/高性能型 HRZ
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    HRZ1kW, 2kW
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范围
冷却能力温度
稳定性
冷却方式循环液
HRZ-20~40℃
20~90℃
-20~90℃
1kW, 2kW
4kW, 8kW
±0.1℃水冷冷冻式氟化液
清水
脱离子水(纯水)
乙二醇水溶液(60%)

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