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大功率阀 VEX

方向控制元件 » 大功率阀
    ・拥有多种尺寸的扩展品，连接口径1/8～2。
    ・VEX1：大容量排气型减压阀。
    ・VEX3：3位3通阀。
    ・VEX5：1阀3功能（减压阀、切换阀、速度控制阀）。
安全注意事项　3・4・5通电磁阀共通注意事项
选型・技术资料　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
名称系列功能
减压阀VEX1减压阀＋切换阀
3位阀VEX3切换阀
经济阀VEX5减压供气＋ON/OFF排气＋速度控制

手指阀 VHK

方向控制元件 » 手指阀/手动阀/残压释放3通阀
    ・旋钮方式可直观地显示阀的开闭。
    ・旋钮操作轻巧（0.04～0.14N・m）
    ・难燃性设计（VHK□R）
安全注意事项　3・4・5通电磁阀共通注意事项
选型・技术资料　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
名称系列种类连接口径
手指阀VHK22通阀φ4～φ12
M5，1/8～1/2
手指阀VHK33通阀φ4～φ12
M5，1/8～1/2

机控阀 VM/VZM/VFM

方向控制元件 » 机控阀/中继元件
产品特点
    ・有丰富的扩展品，可对应各种全气控系统。
    ・体积小，节省空间。
安全注意事项　3・4・5通电磁阀共通注意事项　系列扩展品
选型・技术资料　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
名称系列通口数
机控阀VM10002、3通
机控阀VM100，VM2002、3通
机控阀VM4003通
机控阀VZM500，VZM4005通
机控阀VFM300，VFM2005通
机控阀VM8003通

4・5通气控阀 SYJA3000/5000/7000

方向控制元件 » 气控阀
    ・配有SY3000/5000/7000系列使用的集装底座。
安全注意事项　选型・技术资料　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列流量特性
4/2→5/3（A/B→EA/EB）
C［dm3/（ s・bar）］		流量特性
4/2→5/3（A/B→EA/EB）
b		流量特性
4/2→5/3（A/B→EA/EB）
Cv		气缸驱动
尺寸
SYJA30000.460.350.12φ25
SYJA50000.830.320.21φ40
SYJA70002.90.350.74φ50

3通电磁阀 VQZ100/200/300

方向控制元件 » 先导式3通电磁阀
    ・该产品为外部先导规格，可真空使用。
    ・铝制一体型集装式・可安装DIN导轨。
    ・集装型号：VV3QZ12，VV3QZ15，VV3QZ22，VV3QZ25，
    　　　　　　VV3QZ32，VV3QZ35
安全注意事项　3・4・5通电磁阀共通注意事项
选型・技术资料　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列流量特性
2→3（A→R）
C［dm3/（ s・bar）］		流量特性
2→3（A→R）
b		流量特性
2→3（A→R）
Cv		消耗功率（W）可真空使用
VQZ1000.560.300.140.35（标准）
0.9（高压型、
高速响应型）		－100kPa
VQZ2001.70.360.450.35（标准）
0.9（高压型、
高速响应型）		－100kPa
VQZ3003.00.330.720.35（标准）
0.9（高压型、
高速响应型）		－100kPa

带刻度的速度控制阀 薄型紧凑型 JAS-S

速度控制阀 » 通用速度控制阀
    ・高度最多减小20.8mm
    ・带刻度窗，可对流量进行数值管理
    　有副尺显示，设定可精确到1/4刻度
    　可减少作业工时和误设定
    ・进气口可选择在主体左侧或右侧
安全注意事项　驱动控制元件/共通注意事项　扩展品
特定开发品信息　环保认证(RoHS)
形式系列气缸侧连接口径适合管子外径
公制尺寸		适合管子外径
英制尺寸
弯头型JAS-SM3×0.5
M5×0.8
10-32UNF
R, NPT, G 1/8		φ3.2、φ4、φ6φ1/8''、φ5/32''、φ1/4''

微雾分离器 10-/21-AFD-D

洁净/低发尘系列 » 三联件F.R.L./压力控制元件

    洁净系列

安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
F.R.L/共通注意事项　环保认证(RoHS)
系列接管口径过滤精度 (μm)
10-AFD20～40-D1/8，1/4，3/8，1/2，3/40.01
21-AFD20～40-D1/8，1/4，3/8，1/2，3/40.01

洁净型气体过滤器 SFB

洁净/低发尘系列 » 洁净气体过滤器・空气过滤器
    一次性型／直线型

    ・半导体工程用的小型一次性型。
安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
压缩空气净化元件/共通注意事项　环保认证(RoHS)
系列使用压力过滤精度
SFB300Max.1.0MPa
（真空：1.3×10－6kPa）		0.01μm

微雾分离器 10-AMD

洁净/低发尘系列 » 压缩空气净化过滤器系列

    洁净系列

安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
压缩空气净化元件/共通注意事项　环保认证(RoHS)
系列过滤精度（μm）额定流量L/min（ANR）接管口径
10-AMD0.01（95％捕捉粒径）200〜120001/8〜2

回转驱动型气爪 2爪型 11-/22-MHR2/MDHR2

洁净/低发尘系列 » 气爪

    洁净系列


    ・以回转执行器作为驱动源，降低了高度方向的尺寸且精度高。
    ・可对应洁净室等级10。
安全注意事项　适合磁性开关一览
特点/基本规格/洁净产品共通注意事项　气爪/共通注意事项
磁性开关/共通注意事项　环保认证(RoHS)
系列气缸内径 (mm)
11-/22-MHR2公称直径 10，15，20，30

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