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油雾器 AL-A
F.R.L组件/压力控制元件 » 三联件F.R.L.-
・提高目视确认性&安全性
用透明杯体保护罩包覆杯体
・准标准规格/1000cm3储液罐(AL30~AL60)
※AL-A将于2025年3月停产。
请选择AL-D。
系列 | 接管口径 | 储油量(cm3) |
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AL10~60-A | M5,1/8,1/4,3/8,1/2,3/4,1 | 7~135 |
真空减压阀 IRV
真空用元件 » 真空减压阀F.R.L组件/压力控制元件 » 减压阀
压力控制元件 » 减压阀

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・可控制真空气路的压力。
・全系列都有一面配管规格。
・质量减小20%(与以前产品相比)。
・内置快换管接头。
・压力计、数字式压力开关采用卡子固定,拆装容易。
・压力计、数字式压力开关的安装方向可变更(尽标准配管规格)。
・压力计、数字式压力开关的安装角度(以60°为一个单位)容易变更。
系列 | 连接口径 | 设定压力范围(kPa) |
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IRV10 | φ6,φ8,φ1/4,φ5/16 | -100~-1.3 |
IRV20 | φ6,φ8,φ10,φ1/4,φ5/16,φ3/8 | -100~-1.3 |
真空吸盘/半导电性硅橡胶 ZP3-□HS□
真空用元件 » 真空吸盘
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・缓慢释放静电,防止电子零部件损坏
・表面电阻:106~109[Ω]
・吸盘形状:平型带沟
・安装连接:外螺纹、内螺纹
・真空引出方向:纵向、横向
・真空安装出口:内螺纹、快换管接头、倒钩接头
・缓冲器:无、带
[缓冲行程(mm):3, 6, 10, 15, 20]
系列 | 吸盘形状 | 吸盘径 |
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ZP3-□HS□ | 平型带沟 | φ4, φ6, φ8, φ10, φ13, φ16 |
强力夹紧缸 CKZT80
气缸 » 夹紧气缸
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・高夹紧力:8800N(臂长100mm、0.5MPa时)
・肘节机构实现了增力和锁紧功能
・耐焊渣喷溅构造
・带能对应焊接磁场的接近开关
・可选择带手动操作机构(锁紧规格)
系列 | 臂开度 | 开关 | 缸筒内径(mm) |
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CKZT | 30º、45º、60º、75º 、90º 105º、120º、135º | TURCK/P&F | 80 |
薄型气缸、省空气型/多边形活塞长方形气缸 CDQ2B-X3206
气缸 » 紧凑型气缸
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・内置排气回收回路,采用多边形活塞,实现了小型、轻量化
・空气消耗量:最多减少46%
・将压出侧的空气引至吸入侧,实现空气再利用
(内置排气回收回路)
・仅配管即可实现省空气
・小型(采用多边形活塞)
宽:减小27%※、全长:缩短7%※
※与CDQ2、ø32, 10行程的相比
形式 | 系列 | 动作方式 | 缸筒内径(mm) |
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标准型 | CDQ2B-X3206 | 单杆双作用 | 32,40,50 |
5通电磁阀 VF1000/3000/5000
方向控制元件 » 先导式4、5通电磁阀系列 | 流量特性 4/2→5/3 (A/B→EA/EB) C[dm3/(s・bar)] | 流量特性 4/2→5/3 (A/B→EA/EB) b | 流量特性 4/2→5/3 (A/B→EA/EB) Cv | 气缸驱动 尺寸 | 消耗功率(W) |
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VF1000 | 0.53 | 0.28 | 0.13 | φ40 | 1.55(标准) 0.55(带节电回路) 0.4(低功率规格) |
VF3000 | 3.1 | 0.32 | 0.75 | φ80 | 1.55(标准) 0.55(带节电回路) 0.4(低功率规格) |
VF5000 | 10.0 | 0.49 | 2.9 | φ125 | 1.55(标准) 0.55(带节电回路) |
符合NAAMS规格的强力夹紧缸 CKZ5N
气缸 » 夹紧气缸-
・采用新构造,实现了小型化
全长最多缩短49mm
纵深最多减小17.3mm(可与现行产品CKZ3N互换安装)
・质量最多减小27%
采用铝制主体,大幅轻量化
・高夹紧力:4000N(ø63、臂长100mm、0.5MPa时)
・手动解锁的操作性提升
・耐火花喷溅构造
采用铝制全封闭主体构造
系列 | 臂开度 | 开关 | 缸筒内径(mm) |
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CKZ5N | 15º、30º、45º、60º、75º、90º、105º、120º、135º | TURCK/P&F | 50、63 |
双联气缸 10-/11-/12-/21-/22-CXS
洁净/低发尘系列 » 气缸种类 | 系列 | 轴承种类 | 缸筒内径 (mm) |
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基本型 | 10-/11-/12-CXSM 21-/22-CXSM | 滑动轴承 | 6,10,15,20,25,32 |
基本型 | 10-/11-/12-CXSL 21-/22-CXSL | 滚珠衬套轴承 | 6,10,15,20,25,32 |
水冷式温控器/高性能型 HRW
温控器 » 温控器(循环液温控装置)产业用通信元件/无线系统 » 产业用通信元件 对应DeviceNet的元件
温控器 » 温控器(循环液温控装置)High performance/Type & Inverter Type zh-cn

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・与工厂内循环水直接热交换
・适合在不需要制冷的范围内温控时使用
・具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置,
在半导体过程控制装置上成果较多
・符合UL、SEMI标准、CE认证
・可选择变频型
※提供样机试用服务
请与最近的营业所联系
营业所一览
系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRW | 20~90℃ | 2kW, 8kW 15kW, 30kW | ±0.3℃ | 水冷却式 (无压缩机) | 氟化液 清水 脱离子水(纯水) 乙二醇水溶液(60%) |