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温控器/高性能型 HRZ
温控器 » 温控器（循环液温控装置）产业用通信元件/无线系统 » 产业用通信元件 对应DeviceNet的元件
产业用通信元件/无线系统 » 其他 对应RS232C的元件
产业用通信元件/无线系统 » 其他 对应RS485的元件
温控器 » 温控器（循环液温控装置）High performance/Type & Inverter Type zh-cn
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・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能，广泛用于半导体行业
・符合各种安全规格
・符合UL, SEMI规格以及CE标识
※提供样机试用服务
请与最近的营业所联系
营业所一览
| シリーズ | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZ | －20～40℃ 20～90℃ －20～90℃ | 1kW, 2kW 4kW, 8kW | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 清水 脱离子水（纯水） 乙二醇水溶液（60％） |
集尘器用2通电磁阀/气控阀 VXF2/VXFA2
流体控制元件 » 2、3通电磁阀/气控阀
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・配管方式
法兰型、法兰主体型、直管型
・不需加工2次侧的孔口，削减了配管工时。（法兰主体型）
・防护等级：IP65。※
※导线引出式扁平端子部为IP40
・高温对应：使用流体温度100℃
・追加扁平端子型
・配备专用控制器VXFC系列
| 系列 | 阀形式 | 接管口径 | 孔口直径（mmφ） |
|---|---|---|---|
| VXF2 | N.C. | 20A～100A | 22～100 |
| VXFA2 | N.C. | 20A～100A | 22～100 |
带Uni-带快换管接头的速度控制阀 AS
速度控制阀 » 通用速度控制阀
| 形式 | 系列 | 气缸侧 连接口径 | 适合管子外径 公制尺寸 | 适合管子外径 英制尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| Uni-快换管接头 | AS□□□1F-U□ | 1/8～1/2 | φ3.2～φ12 | φ1/8''～φ1/2'' |
精密调压阀 IR1000-A/2000-A/3000-A
F.R.L组件/压力控制元件 » 减压阀压力控制元件 » 减压阀
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・空气消耗量：最大约减少90%(与以前产品相比)。
・大流量：最大约为2倍(与以前产品相比)。
・重量轻：最大约减轻27％(与以前产品相比)。
・灵敏度：0.2％(满量程)。
・操作重复性：±0.5％(满量程)。
| 系列 | 接管口径 | 设定压力（MPa） |
|---|---|---|
| IR1000-A | 1/8 | 0.005～0.2 0.01～0.4 0.01～0.8 |
| IR2000-A | 1/4 | 0.005～0.2 0.01～0.4 0.01～0.8 |
| IR3000-A | 1/4，3/8，1/2 | 0.01～0.2 0.01～0.4 0.01～0.8 |
免电池 绝对增量型编码器
电动夹爪 2爪型（F型） LEHF
电动执行器/电缸 » 无电池、绝对增量编码器型
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・可从停止位置重新开始动作
・恢复供电后可以停止位置重新启动
即使电源切断编码器也可保存位置的信息，
因此，电源恢复后无需进行原点复位
・免电池，更便于维护
由于无需保存位置信息用的电池，
故不必进行备用电池的管理及维护更换等
・带防落下功能（全系列均带自锁功能）
・自锁功能可降低耗电量
・带保持确认功能
注）（ ）内是长行程规格的
・对应控制器／驱动器：JXC□LEC□
| 系列 | 主体尺寸 | 开闭行程 两侧 （mm） | 保持力［N］ 基本 | 保持力［N］ 紧凑型 | 开闭速度 （mm/s） |
|---|---|---|---|---|---|
| LEHF | 40 | LEHF | 72～180 | 72～180 | 5～100 |
| LEHF | 32 | LEHF | 48～120 | 48～120 | 5～100 |
滑动导轨方式3爪型气爪 MHS3
摆动气缸/气爪 » 气爪（平行开闭型）
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・采用楔形凸轮构造，高度方向尺寸小且重量轻。
・适合压入等承受外力的作业。
・重复精度 ±0.01mm。
・长行程：行程为标准品的2倍以上。
・可夹持圆筒形工件。
・带通孔及中心推杆，能够可靠地与工件分离。
| 型号 | 系列 | 气缸内径（mm） |
|---|---|---|
| 双作用型 | MHS3 | 16，20，25，32，40，50，63，80，100，125 |
| 单作用型 | MHS3-X84 | 16，20，25，32，40，50，63 |
| 防尘罩型 | MHSJ3 | 16，20，25，32，40，50，63，80 |
| 通孔型 | MHSH3 | 16，20，25，32，40，50，63，80 |
| 防尘罩＋通孔型 | MHSHJ | 16，20，25，32，40，50，63，80 |
| 长行程型 | MHSL3 | 16，20，25，32，40，50，63，80，100，125 |
薄型气缸/省空气型 CDQ2B-X3150
气缸 » 紧凑型气缸
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・空气消耗量：最多见少46%
・将压出侧的空气引至吸入侧，实现空气再利用
（内置排气回收回路）
・仅配管即可实现省空气
・外形尺寸、安装尺寸与现行产品CDQ2系列相同
※仅支持通孔型安装
| 形式 | 系列 | 动作方式 | 缸筒内径（mm） |
|---|---|---|---|
| 标准型 | CDQ2B-X3150 | 单杆双作用 | 32，40，50 |
3通电磁阀／直动型 VS3115/3110/3135/3145
方向控制元件 » 直动式3、4、5通电磁阀
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・直动式电磁阀。
・主阀为金属密封构造。
・0MPa的压力下即可使用。
・可攻击不同的压力。
・集装型号：VVS310，VVS311
※VS3110/3115/3135/3145(AC线圈)将于2024年９月停产。
VS3110/3115请选择VP342/VP344、VS3135请选择VP742、VS3145请选择VG342。
| 系列 | 流量特性 A→E C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 A→E b | 流量特性 A→E Cv | 消耗功率（W） |
|---|---|---|---|---|
| VS3115 | 3.6 | 0.34 | 0.88 | 5.5 |
| VS3110 | 3.6 | 0.18 | 0.82 | 5.5 |
| VS3135 | 9.0 | 0.3 | 2.4 | 13.2 |
| VS3145 | 15 | 0.46 | 4.5 | 24.0 |
