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5通电磁阀／盒型集装式 SZ3000

方向控制元件 » 先导式4、5通电磁阀
    ・盒型使阀易于更换。
    ・带有开关的阀使得维护时更安全。
    ・无底座构造的扁平形状可节省空间。
    ・集装型号：SS5Z3
安全注意事项　3・4・5通电磁阀共通注意事项
选型・技术资料　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列流量特性
4/2→3（A/B→R）
C［dm3/（s・bar）］		流量特性
4/2→3（A/B→R）
b		流量特性
4/2→3（A/B→R）
Cv		气缸
驱动
尺寸		消耗功率（W）
SZ30000.770.190.19φ320.6

低速控制用双向速度控制阀 10-ASD-FM

洁净/低发尘系列 » 驱动控制元件

    洁净系列

安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项　注意事项　环保认证(RoHS)
系列连接口径适合管子外径
10-ASD-FMM5～1/4φ4～φ10

导杆气缸 10-MGF

洁净/低发尘系列 » 气缸

    洁净系列


    ・高度方向尺寸缩短的耐偏心负载能力强的大口径带导杆薄型气缸。
安全注意事项　适合磁性开关一览
特点/基本规格/洁净产品共通注意事项　执行器/共通注意事项
磁性开关/共通注意事项　环保认证(RoHS)
系列动作方式缸筒内径 (mm)
10-MGF双作用40，63，100

温控器/高性能变频型 HRZ

温控器 » 温控器（循环液温控装置）
产业用通信元件/无线系统 » 其他　对应RS232C的元件
产业用通信元件/无线系统 » 其他　对应RS485的元件
    ・在HRZ系列的高性能基础上，采用了DC变频压缩机，实现了节能
    ・温度范围和冷却能力范围大
    ・用于刷新循环块的半导体装置等，可平缓地对应过程条件的变化
    ・符合UL, SEMI规格及CE标识

    ※提供样机试用服务
    　请与最近的营业所联系
    　营业所一览
  • 2D CAD
    查看 2D CAD
  • 温控器/高性能变频型 HRZ
    说明书
    系列 冷却能力 查看搜索结果
    HRZ10kW查看搜索结果
  • 温控器/高性能变频型 HRZ
    自我宣告书
    系列 冷却能力 查看搜索结果
    HRZ10kW查看搜索结果
安全注意事项　温控器/共通注意事项　特点　技术资料
关于温控器的保修　环保认证(RoHS)
系列设定温度
范围		冷却能力温度
稳定性		冷却方式循环液
HRZ－20～90℃
10～60℃		10kW±0.1℃水冷冷冻式氟化液
清水
脱离子水（纯水）
乙二醇水溶液（60％）

直动式3通电磁阀 VX3

流体控制元件 » 2、3通电磁阀/气控阀
    ・用于空气、水、油、蒸汽。
    ・集装式型号：VVX31，VVX32，VVX33。
安全注意事项　流体控制用2通电磁阀/共通注意事项
选型・流量特性　扩展品/选型步骤/一览表　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列阀形式接管口径孔口直径（mmφ）
VX31/32/33N.C.／N.O.／COM.1/8～3/81.5～4

水用数字式流量开关 PF2W

传感器/开关 » 电子式流量开关/传感器
    ・有一体型、显示器分离型。
    ・开关输出、累积脉冲输出、模拟输出。
    ・可切换累积流量、瞬时流量。
    ・可对应90℃高温。
    ・IP65
    ・4通道流量显示器。
    　可将四种不同流量范围的传感器连接到1台控制器上。

    　　点此查看数字式开关设定系统
安全注意事项　压力开关・流量开关/共通注意事项
流量开关扩展品　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列额定流量范围（L/min）
PF2W0.5～4
2～16
5～40
10～100

双向速度控制阀 ASD

速度控制阀 » 通用速度控制阀
    ・1个速度控制阀可控制双向的流量（进气节流・排气节流）。
    ・防止气缸急速伸出。
    ・单作用气缸的速度控制。
安全注意事项　驱动控制元件/共通注意事项　扩展品
特定开发品信息　环保认证(RoHS)
形式系列气缸侧
连接口径		适合管子外径
公制尺寸		适合管子外径
英制尺寸
双向速度
控制阀		ASDM5～1/2φ4～φ12φ1/8''～φ3/8''

精密减压阀 IR

F.R.L组件/压力控制元件 » 减压阀
压力控制元件 » 减压阀
    ・张力控制 。
    ・接触压力控制。
    ・速度灵敏度：0.2％F.S.以内。
    ・重复性±：0.5％F.S.以内。
安全注意事项　F.R.L/共通注意事项　压力控制元件/扩展品
特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列接管口径设定压力（MPa）
IR10001/80.005～0.2
0.01～0.4
0.01～0.8
IR20001/40.005～0.2
0.01～0.4
0.01～0.8
IR30001/4，3/8，1/20.01～0.2
0.01～0.4
0.01～0.8

减压阀 AR-A

F.R.L组件/压力控制元件 » 三联件F.R.L.
产品特点
    ・节能减压阀　压力下降量：最大改善50%

    ※AR-A将于2025年3月停产。
    　请选择AR-D。
安全注意事项　F.R.L/共通注意事项　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列接管口径设定压力（MPa）
AR10～40-AM5，1/8，1/4，3/8，1/2，3/40.05～0.7
0.02～0.2

吹气模块 LLB1

气源处理元件 » 压缩空气清净化过滤器
    ・配管工时削减/省空间。
    ・将各元件紧凑地一体化。
    ・可短间距安装
    　实现压力的集中管理。
    ・接触流体部分：无润滑脂。
安全注意事项　压缩空气净化元件/共通注意事项　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列使用流体设定压力流量范围 L/min（ANR）
LLB1空气、N2气体0.05～0.6MPa
0.05～0.35MPa		～100

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