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隔膜阀　高纯度工艺气体用 AZ

流体控制元件 » 小型2、3通电磁阀
工艺气体元件（特气阀） » 工艺气体用元件
无润滑脂 氮气（N2）对应元件 » 工艺气体元件
    ・用于精密洗净及洁净室组装。
    ・全部产品均经过了氦气泄漏检测。
    ・符合SEMI规格
    ・采用方便作业的锻造主体。
安全注意事项　工艺气体用元件/共通注意事项　扩展品
推荐型号　技术资料/用语解说　环保认证(RoHS)
系列形式主体材质配管连接配管尺寸
AZ气控型SUS316L面密封接头
管子焊接		1/4''
3/8''
1/2
AZ手动型SUS316L面密封接头
管子焊接		1/4''
3/8''
1/2

高频2通阀 SX10

流体控制元件 » 小型2、3通电磁阀
产品特点
    ・高速响应：ON时 0.45ms、OFF时 0.4ms(±0.05ms)。
    ・长寿命 50亿次以上。
    ・高频率 1200Hz。
    ・薄型 9mm。
    ・低功耗 4W。
安全注意事项　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列流量消耗功率 (W)最高动作频率 (Hz)
SX105080
40
10
4		1200
1000
550
350
SX1010080
40
10
4		650
550
300
200
SX1015080
40
10
4		600
500
250
150

先导式2通电磁阀 VXD

流体控制元件 » 2、3通电磁阀/气控阀
产品特点
    ・用于空气、水、高温水、油・高温油
    ・阀体材质：Al、树脂、C37、SUS、CAC408
    ・带快换管接头（树脂阀体）
    ・IP65
安全注意事项　流体控制用2通电磁阀/共通注意事项
选型・流量特性　扩展品/选型步骤/一览表　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列阀形式接管口径孔口直径（mmφ）
VXDN.C.／N.O.φ10，φ12，φ3/8''
1/4～1
32A～50A		10～50

静电消除器/喷嘴型 IZN10E

静电对策元件（静电消除器） » 静电对策元件（除静电元件）静电消除器 喷嘴型
产品特点
    ・薄型：16mm(厚度)×100mm(宽度)×46mm(高度)
    ・轻量：减轻33%　120g→80g
    ・偏置电压：±10V
    ・可结合用途选择喷嘴
    　节能喷嘴（近距离除电）
    　大流量喷嘴（远距离除电）
用语解说安全注意事项　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列离子产生方式偏置电压
（离子平衡）
IZN10E电晕放电式节能喷嘴：±10V以内
大流量喷嘴：±15V以内

3色显示 数字式流量传感器/大流量型 PF3A□H（-L）

传感器/开关 » 电子式流量开关/传感器
对应IO-Link的元件 » 数字式流量开关
产业用通信元件/无线系统 » 产业用通信元件　对应IO-Link的元件
产品特点
    ・适合流体：空气、, N2
    ・流量范围：最大12,000L/min
    ・流量范围比 100:1
    　1台即可测量广泛的流量范围
    ・耐冷凝水、耐异物能力提高
    ・压力损失降低75%（20kPa→5kPa）
    ・贯通构造
    ・对应IO-Link
    ・可连接气动组合元件（模块型）
    ・4画面带压力/温度传感器的数字流量传感器（模块型）
    　可同时测量（累积）流量/压力/温度
  • 2D CAD
    查看 2D CAD
  • 3色显示 数字式流量传感器/大流量型 PF3A□H（-L）
    说明书
    系列 查看搜索结果
    PF3A□H(-L)查看搜索结果
  • 3色显示 数字式流量传感器/大流量型 PF3A□H（-L）
    自我宣告书
    系列 查看搜索结果
    PF3A□H(-L)查看搜索结果
安全注意事项　压力开关・流量开关/共通注意事项　环保认证(RoHS)
系列额定流量范围（L/min）
PF3A□H(-L)10～1000
20～2000
30～3000
60～6000
120～12000

真空用压力开关／舌簧开关式 ZSM1

传感器/开关 » 机械式压力开关
    ・可安装于真空发生器系统ZM系列。
安全注意事项　压力开关・流量开关/共通注意事项
压力开关扩展品/应用　用语集/技术解说　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列种类设定压力范围
ZSM1真空压－27～－80kPa

3画面多通道数字显示器 PSE200A

传感器/开关 » 电子式压力开关/压力传感器(传感器、放大器分离型)
对应IO-Link的元件 » 压力开关
产业用通信元件/无线系统 » 产业用通信元件　对应IO-Link的元件
产品特点
    ・最多可连接4个压力传感器！
    　集中管理，减小设置空间
    　1台显示器可管理不同用途的传感器
    ・可边观察测定值边进行设定
    ・对应IO-Link
安全注意事项　压力开关・流量开关/共通注意事项
压力开关扩展品/应用　用语集/技术解说　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列设定压力范围适合压力传感器
PSE200A−0.2～2.1kPa
10～−105kPa
−105～105kPa
−10～105kPa
−50～525kPa
−0.105～1.05MPa
−0.105～2.1MPa
−0.25～5.25MPa
−0.5～10.5MPa		PSE550
PSE531/PSE541/PSE561
PSE533/PSE543/PSE563/PSE573
PSE532
PSE564/PSE574
PSE530/PSE540/PSE560/PSE570
PSE575
PSE576
PSE577

通用流体压力传感器 PSE56□

传感器/开关 » 电子式压力开关/压力传感器(传感器、放大器分离型)
无润滑脂 氮气（N2）对应元件 » 压力开关
    ・液体接触部SUS316L
    ・IP65
    ・适合广泛流体
    ・模拟输出（电压/电流）
    ・低泄漏。面密封、卡套式接头可供选择
安全注意事项　压力开关・流量开关/共通注意事项
压力开关扩展品/应用　用语集/技术解说　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列种类额定压力范围
PSE561真空压0～－101kPa
PSE563混合压－100～100kPa
PSE564正压0～500kPa
PSE560正压0～1MPa

薄型数字式压力传感器 ZSE10（F）/ISE10

传感器/开关 » 电子式压力开关/压力传感器(传感器、放大器一体型)
    ・薄型9.8mm
    ・纵向安装面积约减少1/2
    　（与ZSE/ISE30A比较）
    ・最多可同时复制10台
    ・3步设定
安全注意事项　压力开关・流量开关/共通注意事项
压力开关扩展品/应用　用语集/技术解说　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列种类额定压力范围
ZSE10F混合压－100.0～100kPa
ZSE10真空压0.0～－101.0kPa
ISE10正压－0.100～1.000MPa

洁净型减压阀用压力计 G46-□-□-SRA,B

消音器／排气洁净器／气枪/压力计 » 压力计
无润滑脂 氮气（N2）对应元件 » 压力计
    ・洁净型减压阀用。
    ・带限位指示器。
安全注意事项　扩展品　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列大小（外径）连接螺纹
G46-□-□-SRA,Bφ42.5R1/8，1/4

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