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压力传感器 10-PSE530

洁净/低发尘系列 » 压力开关/压力传感器

    洁净系列


    ・高精度、高分辨率。
安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
压力开关・流量开关/共通注意事项　环保认证(RoHS)
系列设定压力范围
10-PSE530－100〜101kPa
0〜101kPa
0〜－101kPa
0〜1MPa

速度控制阀 直线型 10-AS

洁净/低发尘系列 » 驱动控制元件

    洁净型

安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项　注意事项　环保认证(RoHS)
形式系列适合管子外径
直线型10-AS-2Fφ2～φ12

方形多管对接式接头 10-KDM

洁净/低发尘系列 » 管接头&管子

    洁净系列


    ・多管的快速拆装。
安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
管接头&管子/共通注意事项　环保认证(RoHS)
系列连接管子数量适合管子外径
10-KDM10根、20根φ3.2，φ4，φ6，φ8

减压阀 10-/21-AR-D

洁净/低发尘系列 » 三联件F.R.L./压力控制元件

    洁净系列

安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
F.R.L/共通注意事项　环保认证(RoHS)
系列接管口径设定压力 (MPa)
10-AR20～60-D1/8，1/4，3/8，1/2，3/4，10.05～0.85
21-AR20～60-D1/8，1/4，3/8，1/2，3/4，10.05～0.85

洁净型气体过滤器 SFC

洁净/低发尘系列 » 洁净气体过滤器・空气过滤器
    一次性型／直线型

    ・半导体工程用的小型一次性型。
安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
压缩空气净化元件/共通注意事项　环保认证(RoHS)
系列使用压力过滤精度
SFC100最高1.0MPa
（真空：1.3×10－6kPa）		0.01μm

带前置过滤器的微雾分离器 10-AMH

洁净/低发尘系列 » 压缩空气净化过滤器系列

    洁净系列

安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
压缩空气净化元件/共通注意事项　环保认证(RoHS)
系列过滤精度（μm）额定流量L/min（ANR）接管口径
10-AMH0.01（95％捕捉粒径）200〜120001/8〜2

回转驱动型气爪 3爪型 11-/22-MHR3/MDHR3

洁净/低发尘系列 » 气爪

    洁净系列


    ・以回转执行器作为驱动源，降低了高度方向的尺寸且精度高。
    ・可对应洁净室等级10。
安全注意事项　适合磁性开关一览
特点/基本规格/洁净产品共通注意事项　气爪/共通注意事项
磁性开关/共通注意事项　环保认证(RoHS)
系列气缸内径 (mm)
11-/22-MHR3公称直径 10，15

气缸 10-/11-/21-/22-CA2

洁净/低发尘系列 » 气缸

    洁净系列

安全注意事项　适合磁性开关一览
特点/基本规格/洁净产品共通注意事项　执行器/共通注意事项
磁性开关/共通注意事项　环保认证(RoHS)
形式系列动作方式缸筒内径 (mm)
标准型10-/11-/21-/22-CA2单杆双作用40，50，63

5通电磁阀 10-SZ

洁净/低发尘系列 » 方向控制元件

    洁净系列

安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
3・4・5通电磁阀 共通注意事项　环保认证(RoHS)
系列声速流导：C气缸驱动尺寸消耗功率 (W)
10-SZ30000.77dm3(s・bar)φ320.6

管路过滤器 FH

液压元件 » 液压用元件
    ・采用紧凑而坚固的安全设计。
    ・滤芯容易更换。
    ・油可反向流动。
    ・压差显示器、压差显示开关（CB-□□H）可检测堵塞状态。
安全注意事项　液压缸/共通注意事项　目录/INDEX
特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列连接口径额定流量 L/min使用压力（MPa）滤芯μm
（公称过滤精度）
FH34螺纹拧入（Rc）
3/8～1 1/2
法兰SSA
15（1/2B）～80（3B）		10～6003.5，7，14，21纸：
5，10，20
FH44螺纹拧入（Rc）
3/8～1 1/2
法兰SSA
15（1/2B）～80（3B）		10～6003.5，7，14，21纸：
5，10，20
FH54螺纹拧入（Rc）
3/8～1 1/2
法兰SSA
15（1/2B）～80（3B）		10～6003.5，7，14，21纸：
5，10，20
FH64螺纹拧入（Rc）
3/8～1 1/2
法兰SSA
15（1/2B）～80（3B）		10～6003.5，7，14，21纸：
5，10，20

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