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气缸／短型 CM3/CDM3

气缸 » 标准型气缸(圆形)
    ・全长最大缩短51mm、重量最大减轻24%。（与CG1比较）
    ・杆端内螺纹标准化
    ・带磁性开关（CDM3系列：CDM3）
安全注意事项　执行器/共通注意事项
磁性开关/共通注意事项　选型・技术资料　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
形式系列动作方式缸径（mm）
标准型CM3单杆双作用20，25，32，40

3通气控阀 VTA301/315

方向控制元件 » 气控阀
    ・万向接口型。
    ・0MPa压力下即可使用。
安全注意事项　选型・技术资料　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列流量特性
2→3（A→R）
C［dm3/（ s・bar）］		流量特性
2→3（A→R）
b		流量特性
2→3（A→R）
Cv
VTA3010.600.290.15
VTA3151.70.390.45

电源模块 EX9-PE1-X15/X22/X23/X24

方向控制元件 » 省配线现场总线系统（串行传送系统）
    ・最多4种电源模块，可为8系统单独供给电源
    　同一集装板上，可分区域进行独立电源控制
    　可削减安装空间
    ・最大输出点数：32点
    ・对应IP67（集装板整体）
安全注意事项　3・4・5通电磁阀共通注意事项
扩展品/适用的阀系列　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列适合阀
EX9-PE1-X15/X22/X23/X24JSY、SY、VQC、S0700、SV

3通电磁阀／直动座阀型 VT307

方向控制元件 » 直动式3、4、5通电磁阀
产品特点
    ・低消耗功率：1.8W。
    ・1个阀具有多种功能。
    　（多种接管形式）
    ・可对应低浓度臭氧。
    　橡胶材质：主阀部分采用HNBR。
    ・具有与以前产品的安装互换性。
    ・集装型号：VV307。
安全注意事项　3・4・5通电磁阀共通注意事项
选型・技术资料　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列流量特性
2→3 (A→R)
C［dm3/（ s・bar）］		流量特性
2→3 (A→R)
b		流量特性
2→3 (A→R)
Cv		消耗功率（W）可真空使用
VT3070.710.250.174 (标准)
1.8 (低功率型)		-101.2kPa

5通电磁阀 插入型 S0700

方向控制元件 » 先导式4、5通电磁阀
产品特点
    ・有多种集中配线方式。
    ・细长紧凑的集装式：设置空间减少45%※
    　　　　　　　　　　　高度减少20mm※
    　　　　　　　　　　　※与组合集装式比较
    ・4位置双3通阀。
    ・集装型号：SSO751，SSO750
安全注意事项　3・4・5通电磁阀共通注意事项
选型・技术资料　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列流量特性
1→4/2（P→A/B）
C［dm3/（s・bar）］		流量特性
1→4/2（P→A/B）
b		流量特性
1→4/2（P→A/B）
Cv		气缸
驱动
尺寸		消耗功率（W）
S07000.390.390.11φ250.35

模块连接型膜式空气干燥器 IDG-D

气源处理元件 » 空气干燥器
    ・对应各种ISO的水分等级
    ・可模块连接
    ・无氟
    ・无需电源
    ・无振动、无排热
    ・节能
    　压降：最多减小61%
    　出口空气流量：最多提高25%
    　湿气比率：约14%
安全注意事项　压缩空气净化元件/共通注意事项
选型・技术资料　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列基准入口条件出口空气流量
L/min（ANR)		压力露点（℃）水分等级适合AC尺寸接管口径
IDG20-D25℃ 0.7MPa10034AC20Rc,NPT,G
1/8,1/4
IDG30-D25℃ 0.7MPa25034AC30Rc,NPT,G
1/4,3/8
IDG40-D25℃ 0.7MPa50034AC40Rc,NPT,G
3/8,1/2

金属主体的速度控制阀 10-AS

洁净/低发尘系列 » 驱动控制元件

    洁净系列

安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项　注意事项　环保认证(RoHS)
形式系列连接口径
直线型10-AS1000～5000M3～1/2

真空减压阀 10-IRV

洁净/低发尘系列 » 三联件F.R.L./压力控制元件

    洁净系列


    ・可用于真空气路的压力控制。
    ・全系列均有一面配管规格。
    ・质量减小20％（与以前产品相比）。
    ・内置快换管接头。
    ・采用卡头固定方式，压力计、数字式压力开关容易拆装。
    ・压力计、数字式压力开关的安装方向可变（仅标准配管规格）。
    ・压力计、数字式压力开关的安装角度（以60°为最小单位）容易变更。
安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
F.R.L/共通注意事项　环保认证(RoHS)
系列接管口径设定压力 (kPa)
10-IRVφ6，φ8，φ1/4，φ5/16-100～-1.3
10-IRV20φ6，φ8，φ10，φ1/4，φ5/16，φ3/8-100～-1.3

气动滑台 13-/22-MXQ

洁净/低发尘系列 » 气缸

    洁净系列


    ・导轨与滑台一体化
    ・采用循环式直线导轨，精度高、刚性高。
安全注意事项　适合磁性开关一览
特点/基本规格/洁净产品共通注意事项　执行器/共通注意事项
磁性开关/共通注意事项　环保认证(RoHS)
形式系列动作方式缸筒内径(mm)
标准型13-/22-MXQ双作用6，8，12，16，20，25
对称型13-/22-MXQ□L双作用6，8，12，16，20，25

3通电磁阀 10-S070

洁净/低发尘系列 » 方向控制元件

    洁净系列

安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
3・4・5通电磁阀 共通注意事项　环保认证(RoHS)
系列流量特性
C[dm3/(s·bar)] 		流量特性
b		流量特性
Cv		消耗功率(W)最高动作压力：
MPa
10-S0700.0420.270.0110.50.5
10-S0700.0600.280.0160.50.3
10-S0700.0420.270.0110.350.3
10-S0700.0600.280.0160.350.1
10-S0700.0210.270.0060.1 (带节电回路)0.3
10-S0700.0420.280.0110.1 (带节电回路)0.1

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