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洁净型气体过滤器 SF

气源处理元件 » 压缩空气清净化过滤器
无润滑脂 氮气(N2)对应元件 » 气源处理元件
    ・采用可更换滤芯的夹头型。
     (SFA100・200・300,SFB100)
    ・半导体工艺用的小型一次性过滤器。
     (SFB300,SFC100)
形式系列使用压力过滤精度
夹头型
圆盘式
SFA100・200・300最高0.99MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
0.01μm
(捕捉效率99.99%)
夹头型
直通式
SFB100最高0.99MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
0.01μm
(捕捉效率99.99%)
一次性型
直通式
SFB300最高0.99MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
0.01μm
(捕捉效率99.99%)
一次性型
多盘型
SFC100最高0.99MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
0.01μm
(捕捉效率99.99%)

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