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洁净型气体过滤器 SFC

洁净/低发尘系列 » 洁净气体过滤器・空气过滤器
    一次性型／直线型

    ・半导体工程用的小型一次性型。
安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
压缩空气净化元件/共通注意事项　环保认证(RoHS)
系列使用压力过滤精度
SFC100最高1.0MPa
（真空：1.3×10－6kPa）		0.01μm

带前置过滤器的微雾分离器 10-AMH

洁净/低发尘系列 » 压缩空气净化过滤器系列

    洁净系列

安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
压缩空气净化元件/共通注意事项　环保认证(RoHS)
系列过滤精度（μm）额定流量L/min（ANR）接管口径
10-AMH0.01（95％捕捉粒径）200〜120001/8〜2

回转驱动型气爪 3爪型 11-/22-MHR3/MDHR3

洁净/低发尘系列 » 气爪

    洁净系列


    ・以回转执行器作为驱动源，降低了高度方向的尺寸且精度高。
    ・可对应洁净室等级10。
安全注意事项　适合磁性开关一览
特点/基本规格/洁净产品共通注意事项　气爪/共通注意事项
磁性开关/共通注意事项　环保认证(RoHS)
系列气缸内径 (mm)
11-/22-MHR3公称直径 10，15

气缸 10-/11-/21-/22-CA2

洁净/低发尘系列 » 气缸

    洁净系列

安全注意事项　适合磁性开关一览
特点/基本规格/洁净产品共通注意事项　执行器/共通注意事项
磁性开关/共通注意事项　环保认证(RoHS)
形式系列动作方式缸筒内径 (mm)
标准型10-/11-/21-/22-CA2单杆双作用40，50，63

5通电磁阀 10-SZ

洁净/低发尘系列 » 方向控制元件

    洁净系列

安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
3・4・5通电磁阀 共通注意事项　环保认证(RoHS)
系列声速流导：C气缸驱动尺寸消耗功率 (W)
10-SZ30000.77dm3(s・bar)φ320.6

管路过滤器 FH

液压元件 » 液压用元件
    ・采用紧凑而坚固的安全设计。
    ・滤芯容易更换。
    ・油可反向流动。
    ・压差显示器、压差显示开关（CB-□□H）可检测堵塞状态。
安全注意事项　液压缸/共通注意事项　目录/INDEX
特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列连接口径额定流量 L/min使用压力（MPa）滤芯μm
（公称过滤精度）
FH34螺纹拧入（Rc）
3/8～1 1/2
法兰SSA
15（1/2B）～80（3B）		10～6003.5，7，14，21纸：
5，10，20
FH44螺纹拧入（Rc）
3/8～1 1/2
法兰SSA
15（1/2B）～80（3B）		10～6003.5，7，14，21纸：
5，10，20
FH54螺纹拧入（Rc）
3/8～1 1/2
法兰SSA
15（1/2B）～80（3B）		10～6003.5，7，14，21纸：
5，10，20
FH64螺纹拧入（Rc）
3/8～1 1/2
法兰SSA
15（1/2B）～80（3B）		10～6003.5，7，14，21纸：
5，10，20

圆形液压缸 CHM/CHDM

液压元件 » 液压缸
    ・采用铝制缸筒和铝制端盖，重量轻。
    ・带磁性开关（CHDM系列：CHDM）。
安全注意事项　液压缸/共通注意事项
磁性开关/共通注意事项　扩展品　技术资料
特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列公称压力（MPa）缸筒材质动作方式缸筒内径（mm）
CHM3.5铝单杆双作用20，25，32，40

数字式阀控制器 ND7000

过程控制元件 » 定位器
    ・回转执行器与直线执行器均可使用
    ・由TÜV获得SIL 2认证（依据IEC 61508）
    ・有自我诊断功能
    ・有故障安全功能（全闭／全开）
    ・对应HART通信
    ・防护等级：IP66, NEMA 4X
安全注意事项　过程自动化　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列外壳材质空气连接口径供给压力（MPa）输入电流
ND7100阳极氧化
铝合金及聚合物复合材料		G1/40.14～0.84～20mA
ND7200阳极氧化
铝合金及强化玻璃		NPT1/40.14～0.84～20mA

工业过滤器／容器系列 FGA

工业用过滤器/烧结金属滤芯 » 工业用过滤器
    ・大流量过滤（最大3200L/min）。
安全注意事项　工业用过滤器／共通注意事项　选型　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列连接口径最高使用压力使用温度（℃）
FGA25～150（1B～6B）
JIS 10KFF		1MPa最大80

铝制快速装卸型 高真空L型阀 XLAQ・XLDQ

高真空元件 » 高真空阀
    ・快速装卸（无需工具）。
安全注意事项　系统构成/扩展品　特定开发品信息　磁性开关规格　环保认证(RoHS)
系列操作方式轴密封
方式		阀形式材质法兰
尺寸
XLAQ气控式波纹管密封单作用
（N.C.）		主体：铝
波纹管：SUS316L		16～50
XLDQ气控式波纹管密封
O形圈密封		单作用
（N.C.）		主体：铝
波纹管：SUS316L		40，50

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