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烧结金属滤芯 EB/ES

工业用过滤器/烧结金属滤芯 » 烧结金属滤芯
    ・机械强度大、耐压能力强、耐腐蚀性强。
    ・可机械加工、铆接、钎接、焊接及同时烧结。
    ・洗净后可重复使用。
安全注意事项　环保认证(RoHS)
系列材质公称过滤精度
EB铜（1）2，5，10，20，40，70，100，120μm
（　）为准标准。
ES不锈钢（1）2，5，10，20，40，70，100，120μm
（　）为准标准。

工业过滤器／容器系列 FGD

工业用过滤器/烧结金属滤芯 » 工业用过滤器
    ・小流量过滤（最大60L/min）。
    ・可选择防带电规格（FGDE、FGDF）。
安全注意事项　工业用过滤器／共通注意事项　选型　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列连接口径最高使用压力使用温度（℃）
FGDRc3/8，1/2，3/40.7，1MPa最高80

真空无杆缸 CYV

高真空元件 » 真空无杆气缸
    ・可在真空环境内（1.3×10-4Pa）执行搬运工作的气缸。
安全注意事项　系统构成/扩展品　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列使用环境压力｛Pa（ABS）｝缸筒内径（mm）
CYV大气～1.3×10-415，32

对应300mm晶片 平行密封型缝阀 XGTP

高真空元件 » 缝阀／门式阀
    ・长寿命：300万次（常温时）
    ・发尘量：减少1/5以下（与以前产品相比）
    ・维护性提高
    　容易更换波纹管
    　可通过顶部拆装门（订制）
    ・安全对策
    　采用机械式端锁机构
  • 对应300mm晶片 平行密封型缝阀 XGTP
    说明书
    系列 查看搜索结果
    XGTP查看搜索结果
安全注意事项　系统构成/扩展品　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列使用环境压力（Pa）使用流体开口窗尺寸
（高×宽）（mm）		动作压力
（MPa）
XGTP大气压～10-6惰性气体50×3360.45～0.6

带大气开放阀的真空阀 XLJ

高真空元件 » 其他
    ・防止粗抽泵(回转泵)的油逆向流入腔室。
    ・大气开放阀一体结构减少作业工时。
安全注意事项　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列操作方式阀形式轴密封方式法兰尺寸
XLJ电磁式常闭、真空先导O形圈密封25、40

铝制高真空L型阀 XLA/C/F/G

高真空元件 » 高真空阀
产品特点
    ・采用铝制主体
    　均一的烤焙温度
    　轻量·紧凑
    　气体溢出少
    　重金属污染少
    ・可更换波纹管
安全注意事项　特定开发品信息　磁性开关规格　环保认证(RoHS)
系列操作方式阀形式轴密封
方式		用途法兰
尺寸
XLA-2气控式单作用
（N.C.）		波纹管密封无尘
清洁化		16～80
XLAV-2（带电磁阀）气控式单作用
（N.C.）		波纹管密封无尘
清洁化		16～80
XLC-2气控式双作用波纹管密封无尘
清洁化		16～80
XLF-2气控式单作用
（N.C.）		O形圈密封高速动作
高动作次数		16～80
XLFV-2（带电磁阀）气控式单作用
（N.C.）		O形圈密封高速动作
高动作次数		16～80
XLG-2气控式双作用O形圈密封高速动作
高动作次数		16～80

减压阀（压力调节器）高纯度工艺气体用 AP/SL/AZ 一般气体用/AK 背压阀/BP

流体控制元件 » 小型2、3通电磁阀
工艺气体元件（特气阀） » 工艺气体用元件
无润滑脂 氮气（N2）对应元件 » 工艺气体元件
    ・适合半导体等需要供给高洁净度气体的行业。
    ・主体材质为SUS316L二次熔炼或SUS316L。
    ・接触气体部分经过电解研磨处理。
    ・外部金属密封构造。
安全注意事项　工艺气体用元件/共通注意事项　扩展品
推荐型号　技术资料/用语解说　环保认证(RoHS)
系列形式用途主体材质
AP高纯度工艺气体用一段式减压阀SUS316L
二次熔炼
AP高纯度工艺气体用二段式减压阀SUS316L
二次熔炼
AP高纯度工艺气体用气控型减压阀SUS316L
二次熔炼
SL高纯度工艺气体用一段式减压阀SUS316L
二次熔炼
AZ高纯度工艺气体用一段式减压阀SUS316L
AZ高纯度工艺气体用气控型减压阀SUS316L
AK一般气体用一段式减压阀SUS316
AK一般气体用二段式减压阀SUS316
AK一般气体用气控型减压阀SUS316
BP高纯度用背压阀SUS316
BP一般气体用背压阀SUS316

珀尔帖式空气温控器 HEA

温控器 » 空气温控器
    ・使用珀尔帖元件的小型温控器
    ・用于局部温控或小容量的温控
安全注意事项　温控器/共通注意事项　技术资料
相关产品　关于温控器的保修　环保认证(RoHS)
系列设定温度
范围		冷却能力温度
稳定性		冷却方式适合流体
HEA0～50℃22W±0.1℃珀尔帖式风冷空气

珀尔帖式温控器／机架安装型 HECR

温控器 » 温控器/恒温槽（珀耳帖式温控装置）
产品特点
    ・空间利用率高：可安装在19英寸机架上
    　可将多台温控器安装到1个机架上，可节省空间。
    ・温度稳定性：±0.01℃～0.03℃
    ・设定温度范围：10℃～60℃
    ・冷却能力：200W、400W、510W、800W、1kW、1.2kW
    ・消耗功率：200W、300W、400W

    ※提供样机试用服务。
    　请与最近的营业所联系。
    　营业所一览
安全注意事项　温控器/共通注意事项　特点　技术资料
关于温控器的保修　环保认证(RoHS)
系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式
HECR002-A10～60℃200W±0.01～0.03℃珀尔帖式风冷
HECR004-A10～60℃400W±0.01～0.03℃珀尔帖式风冷
HECR006-A10～60℃510W±0.01～0.03℃珀尔帖式风冷
HECR006L-A10～60℃510W±0.01～0.03℃珀尔帖式风冷
HECR008-A10～60℃800W±0.01～0.03℃珀尔帖式风冷
HECR010-A10～60℃1kW±0.01～0.03℃珀尔帖式风冷
HECR008-W10～60℃800W±0.01～0.03℃珀尔帖式风冷
HECR012-W10～60℃1.2kW±0.01～0.03℃珀尔帖式风冷

温控器/标准型 HRS

温控器 » 温控器（循环液温控装置）
产业用通信元件/无线系统 » 其他　对应RS232C的元件
产业用通信元件/无线系统 » 其他　对应RS485的元件
温控器 » 温控器（循环液温控装置）Standard Type/Basic Type zh-cn
产品特点
    ・风冷式设置简单、操作简单，在任何需要的地方都能得到冷却水
    ・激光加工机/分析装置/LCD制造装置/模具温控等广泛用途中成果较多
    ・小型　W377×H615×D500mm、40kg（HRS012/018/024）
    ・定时运转、液面降低、停电复位、防冻功能等
    ・自我诊断功能
    ・最适合日本以外市场用装置（单相AC200~230V、单相AC100V, 115V）
    ・符合CE认证、UL标准

    ※可提供样机试用服务。
    　请与您最近的营业所联系。
    　营业所一览
  • 2D CAD
    查看 2D CAD
  • 温控器/标准型 HRS
    说明书
    系列 冷却能力 查看搜索结果
    HRS012〜0601.3kW, 1.9kW, 2.4kW
    3.2kW, 4.2kW, 5.1kW, 5.9kW
    （60Hz时）    		查看搜索结果
  • 温控器/标准型 HRS
    自我宣告书
    系列 冷却能力 查看搜索结果
    HRS012〜0601.3kW, 1.9kW, 2.4kW
    3.2kW, 4.2kW, 5.1kW, 5.9kW
    （60Hz时）    		查看搜索结果
安全注意事项　温控器/共通注意事项　特点/扩展品　技术资料
关于温控器的保修　环保认证(RoHS)
系列设定温度
范围		冷却能力温度
稳定性		冷却方式循环液
HRS012〜0605～40℃1.3kW, 1.9kW, 2.4kW
3.2kW, 4.2kW, 5.1kW, 5.9kW
（60Hz时）		±0.1℃风冷冷冻式
水冷冷冻式		清水
脱离子水（纯水）
乙二醇水溶液（15％）

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