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真空发生器 ZM

真空用元件 » 真空发生器、真空泵系统
    ・将阀和开关单元化。
    ・可集装化。
    ・最大吸收流量提高40%。
    ・最高真空压力:-84kPa。
系列喷嘴直径
(mm)
最大吸入流量
[L/min(ANR)]
空气消耗量
[L/min(ANR)]
适合吸盘
(mm)
ZM050.515172~16
ZM070.723332~25
ZM101.038602~32
ZM131.344852~40
ZM151.5451102~50

3通电磁阀/直动座阀型 VK300

方向控制元件 » 直动式3、4、5通电磁阀
    ・万向接口型。
    ・可与VK3000集装式混合安装能。
    ・可真空使用。
    ・集装型号:VV3K3
系列流量特性
2→3(A→R)
C[dm3/( s・bar)]
流量特性
2→3(A→R)
b
流量特性
2→3(A→R)
Cv
消耗功率(W)可真空使用
VK3000.800.270.194-101.2kPa

直动式精密减压阀 10-/21-ARP

洁净/低发尘系列 » 三联件F.R.L./压力控制元件

    洁净系列


    ・设定灵敏度0.2%F.S.以内。
    ・节能,空气消耗量减少80% (与本公司产品相比)。
    ・重复性±1%F.S.以内 (or±3kPa以内)。
    ・带逆流功能 (ARP20K・30K・40K)。
    ・可安装在电磁阀与气缸间。
系列接管口径设定压力范围
10-/21-ARP20 (K)1/8・1/40.005~0.4MPa
0.005~0.2MPa
0.005~0.6MPa
10-/21-ARP30 (K)1/4・3/80.005~0.4MPa
0.005~0.2MPa
0.005~0.6MPa
10-/21-ARP40 (K)1/4・3/8・1/20.005~0.4MPa
0.005~0.2MPa
0.005~0.6MPa

冷却液用立式吸油过滤器 FHIAF-10-M149G

工业用过滤器/烧结金属滤芯 » 工业用过滤器
    ・螺纹连接
    ・轻量:2.5kg(铝制主体)
    ・使用压力:-100~0kPa
    ・公称过滤精度:149μm(100目)
    ・可使用真空用压力表进行堵塞管理
系列连接口径使用压力(kPa)公称过滤精度(μm)
FHIAF-10-M149GIN侧:Rp3/4
OUT侧:Rc1/2
-100〜0149(100目)

低回转力矩回转接头 MQR

配管&接头 » 通用管接头
    ・金属密封方式。
    ・回转机构・用于向机器人手臂等回转、摆动部位供气。
    ・低回转力矩:0.003~0.50N・m以下。
    ・使用温度:-10~80℃。
    ・允许回转数:200~3000min-1(rpm)。
系列回路数连接口径使用压力
MQR1,2,4,8,12,16M5×0.8-100kPa~1MPa

直通型空气过滤器 ZFC

真空用元件 » 真空过滤器
气源处理元件 » 压缩空气清净化过滤器
    ・使用压力范围:-100kPa~1.0MPa。
     既可用于正压也可用于真空压。
    ・采用防回转结构。
     使用正压时,防止因松动造成零部件飞散。
    ・有2种透明外壳材质可选。
     聚碳酸酯(标准)、尼龙(订制规格)。


     注1)供给压力0.7MPa、压差30kPa
     注2)订制规格
系列适合管子外径
公制
适合管子外径
英制
流量 L/min(ANR)注1)
正压
流量 L/min(ANR)
真空压
过滤精度(μm)
ZFC1□φ2, φ3.2φ1/8''15/452/55,10注2)
ZFC3□φ3.2, φ4φ1/8'', φ5/32''50/807/105,10注2)
ZFC5□φ4, φ6φ5/32'', φ1/4''100/20010/205,10注2)
ZFC7□φ6, φ8 , φ10, φ12φ1/4'', φ5/16'', φ3/8''250/450/550/65030/70/80/1005,10注2)

弹性体密封的回转接头 MQR-X229

配管&接头 » 通用管接头
    ・弹性体密封。
    ・对应十字滑块联轴器。
    ・使用压力范围:-100kPa~0.7MPa。
    ・允许转速:200min-1(rpm)※1
    ・初始回转力矩:0.50N・m※2以下。
    ・寿命:1000万次回转※3
    ・回路数:8回路。
    ※1 参考值。
    ※2 不加压时。
    ※3 在本公司的寿命实验条件下。
系列回路数连接口径使用压力
MQR-X2298M5×0.8-100kPa~0.7MPa

洁净型气体过滤器 SF

气源处理元件 » 压缩空气清净化过滤器
无润滑脂 氮气(N2)对应元件 » 气源处理元件
    ・采用可更换滤芯的夹头型。
     (SFA100・200・300,SFB100)
    ・半导体工艺用的小型一次性过滤器。
     (SFB300,SFC100)
形式系列使用压力过滤精度
夹头型
圆盘式
SFA100・200・300最高0.99MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
0.01μm
(捕捉效率99.99%)
夹头型
直通式
SFB100最高0.99MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
0.01μm
(捕捉效率99.99%)
一次性型
直通式
SFB300最高0.99MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
0.01μm
(捕捉效率99.99%)
一次性型
多盘型
SFC100最高0.99MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
0.01μm
(捕捉效率99.99%)

3通电磁阀/直动座阀型 VT307

方向控制元件 » 直动式3、4、5通电磁阀
    ・低消耗功率:1.8W。
    ・1个阀具有多种功能。
     (多种接管形式)
    ・可对应低浓度臭氧。
     橡胶材质:主阀部分采用HNBR。
    ・具有与以前产品的安装互换性。
    ・集装型号:VV307。
系列流量特性
2→3 (A→R)
C[dm3/( s・bar)]
流量特性
2→3 (A→R)
b
流量特性
2→3 (A→R)
Cv
消耗功率(W)可真空使用
VT3070.710.250.174 (标准)
1.8 (低功率型)
-101.2kPa

真空减压阀 10-IRV

洁净/低发尘系列 » 三联件F.R.L./压力控制元件

    洁净系列


    ・可用于真空气路的压力控制。
    ・全系列均有一面配管规格。
    ・质量减小20%(与以前产品相比)。
    ・内置快换管接头。
    ・采用卡头固定方式,压力计、数字式压力开关容易拆装。
    ・压力计、数字式压力开关的安装方向可变(仅标准配管规格)。
    ・压力计、数字式压力开关的安装角度(以60°为最小单位)容易变更。
系列接管口径设定压力 (kPa)
10-IRVφ6,φ8,φ1/4,φ5/16-100~-1.3
10-IRV20φ6,φ8,φ10,φ1/4,φ5/16,φ3/8-100~-1.3

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