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水冷式温控器/高性能型 HRW
温控器 » 温控器(循环液温控装置)产业用通信元件/无线系统 » 产业用通信元件 对应DeviceNet的元件
温控器 » 温控器(循环液温控装置)High performance/Type & Inverter Type zh-cn

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・与工厂内循环水直接热交换
・适合在不需要制冷的范围内温控时使用
・具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置,
在半导体过程控制装置上成果较多
・符合UL、SEMI标准、CE认证
・可选择变频型
※提供样机试用服务
请与最近的营业所联系
营业所一览
系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRW | 20~90℃ | 2kW, 8kW 15kW, 30kW | ±0.3℃ | 水冷却式 (无压缩机) | 氟化液 清水 脱离子水(纯水) 乙二醇水溶液(60%) |
大流量型精密减压阀 VEX
F.R.L组件/压力控制元件 » 减压阀压力控制元件 » 减压阀

系列 | 接管口径 | 设定压力范围(MPa) |
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VEX1A33,1B33 | M5,1/8 | 0.01~0.7 |
VEX1□30,1□33 | 1/8,1/4,3/8,1/2,3/4,1,1 1/4,1 1/2,2 | 0.05~0.7 |
过滤减压阀 AW-A
F.R.L组件/压力控制元件 » 三联件F.R.L.-
・作业性提高
因滤芯和杯体一体化,更换滤芯时,可拿在手里轻松进行。
・节能减压阀 压力下降量:最大改善50%
・削减了维护空间 最大减少46%
・提高目视确认性&安全性
用透明杯体保护罩包覆杯体
※AW-A将于2025年3月停产。
请选择AW-D。
系列 | 接管口径 | 设定压力(MPa) | 过滤精度(μm) |
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AW10~40-A | M5,1/8,1/4,3/8,1/2,3/4 | 0.05~0.7 0.02~0.2 | 5 |
真空吸盘/订制规格 ZP2
真空用元件 » 真空吸盘
系列 | 吸盘形状 | 吸盘直径(mm) |
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ZP2 | 小型吸盘 | φ3、φ4、φ5、φ6、φ7、φ8 |
ZP2 | 低矮尺寸规格吸盘 | φ2、φ3、φ3.5、φ4、φ5、φ6、φ8、φ10、φ15 |
ZP2 | 薄型吸盘 | φ5、φ6、φ11、φ14、φ18、φ20 |
ZP2 | 风琴型吸盘 | φ2、φ4、φ5、φ6、φ8、φ10、φ15、φ20 |
ZP/ZP2 | 高刚性吸盘 | φ32、φ40、φ50、φ63、φ80、φ100、φ125、 φ150、φ250、φ300、φ340、30×50 |
大型5通电磁阀 VP4□50/4□70
方向控制元件 » 先导式4、5通电磁阀
系列 | 流量特性 4/2→5/3 (A/B→EA/EB) C[dm3/(s・bar)] | 流量特性 4/2→5/3 (A/B→EA/EB) b | 流量特性 4/2→5/3 (A/B→EA/EB) Cv | 气缸驱动 尺寸 | 消耗功率(W) |
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VP4□50 | 21 | 0.28 | 5.6 | φ140 | 12 |
VP4□70 | 有效截面积:300mm2 | 有效截面积:300mm2 | 有效截面积:300mm2 | φ300 | 12 |
模块式F.R.L.组合元件 AC-B
F.R.L组件/压力控制元件 » 三联件F.R.L.-
・目视确认性&环境适应性提高
・作业性提高
因滤芯和杯体一体化,更换滤芯时,可拿在手里轻松进行。
・削减维护空间:最大减少46%
・减压阀:设定压力0.05~0.85MPa、0.02~0.2MPa
・可选的压力表
方形嵌入式压力表、圆形压力表、数字式压力开关
※AC-B将于2025年3月停产。
请选择AC-D。
组合构成元件 | 系列 | 接管口径 | 设定压力(MPa) |
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空气过滤器・减压阀・油雾器 | AC20~60-B | 1/8,1/4,3/8,1/2,3/4,1 | 0.05~0.85 0.02~0.2 |
过滤减压阀・油雾器 | AC20A~60A-B | 1/8,1/4,3/8,1/2,3/4,1 | 0.05~0.85 0.02~0.2 |
空气过滤器・减压阀 | AC20B~60B-B | 1/8,1/4,3/8,1/2,3/4,1 | 0.05~0.85 0.02~0.2 |
空气过滤器・油雾分离器・减压阀 | AC20C~40C-B | 1/8,1/4,3/8,1/2,3/4 | 0.05~0.85 0.02~0.2 |
过滤减压阀・油雾分离器 | AC20D~40D-B | 1/8,1/4,3/8,1/2,3/4 | 0.05~0.85 0.02~0.2 |