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对应5.0MPa的单向阀 VCHC40

速度控制阀 » 相关元件
    ・采用聚氨酯弹性体阀座，高压环境下的耐久性提高。
安全注意事项　驱动控制元件/共通注意事项　扩展品
特定开发品信息　环保认证(RoHS)
形式系列连接口径使用压力
对应5.0MPaVCHC403/4，10.05～5.0MPa

带刻度指示的速度控制阀/直通型 AS-FS

速度控制阀 » 通用速度控制阀
    ・通过流量的数值化管理，
    　可“减少作业工时”和“减少设定错误”
    　可通过刻度窗进行数值管理
    　考虑了可从4个方向选择的可视性的配置
    ・大型化压下锁定旋钮
    ・提高流量的再现性
    ・无电解镀镍规格已标准化
安全注意事项　驱动控制元件/共通注意事项　环保认证(RoHS)
形式系列气缸侧
连接口径		适合管子外径
公制尺寸		适合管子外径
英制尺寸
直通型AS1002FS～AS4002FS-φ3.2～φ12φ1/8''～φ1/2''

集装式减压阀 ARM1000/2000

F.R.L组件/压力控制元件 » 减压阀
压力控制元件 » 减压阀
    ・带小型压力计ø15（可选项）。
    ・标准规格即带逆流功能。
安全注意事项　F.R.L/共通注意事项　压力控制元件/扩展品
特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列特点接管口径设定压力（MPa）
ARM1000，
2000		集装规格
（共通IN、单独IN）
直动式溢流型
带逆流功能		1/80.05～0.7

洁净型气体过滤器 SF

气源处理元件 » 压缩空气清净化过滤器
无润滑脂 氮气（N2）对应元件 » 气源处理元件
    ・采用可更换滤芯的夹头型。
    　(SFA100・200・300，SFB100)
    ・半导体工艺用的小型一次性过滤器。
    　(SFB300，SFC100)
安全注意事项　压缩空气净化元件/共通注意事项
选型・技术资料　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
形式系列使用压力过滤精度
夹头型
圆盘式		SFA100・200・300最高0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕捉效率99.99％）
夹头型
直通式		SFB100最高0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕捉效率99.99％）
一次性型
直通式		SFB300最高0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕捉效率99.99％）
一次性型
多盘型		SFC100最高0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕捉效率99.99％）

无热再生式空气干燥器 ID

气源处理元件 » 空气干燥器
    ・输出－30℃以下的低露点干燥空气。
    ・无加热器和电控板，体积小重量轻。
    ・可通过指示器确认出口露点状态。
    （采用自我再生式，维护管理容易）
安全注意事项　压缩空气净化元件/共通注意事项
选型・技术资料　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列出口空气流量 L/min（ANR）入口空气流量 L/min（ANR）
ID80～780100～975

免电池 绝对增量型编码器
电动滑台／薄型 LES

电动执行器/电缸 » 免电池、绝对增量型编码器
产品特点
    ・可从停止位置重新开始动作
    ・恢复供电后可以停止位置重新启动
    　即使电源切断编码器也可保存位置的信息，
    　因此，电源恢复后无需进行原点复位
    ・免电池，更便于维护
    　由于无需保存位置信息用的电池，
    　故不必进行备用电池的管理及维护更换等
    ・最大压触推力：180N
    ・重复定位精度：±0.05mm
    ・可缩短工作节拍时间
    　最大加减速度：5,000mm/S2
    　最大速度：400mm/s
    ・对应控制器／驱动器：JXC□LEC□
  • 2D CAD
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  • 免电池 绝对增量型编码器
    电动滑台／薄型 LES
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    电动滑台／薄型 LES
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安全注意事项 电动执行器/共通注意事项 电动执行器/单独注意事项 特长 扩展品 简易选型程序 特定开发品信息 环保认证（RoHS） CE,UKCA/UL 对应表 系统构成图
规格系列行程
（mm）		可搬运重量
（kg）
水平		可搬运重量
（kg）
垂直		速度
（mm/s）		丝杆导程
（mm）
免电池 绝对增量型编码器
（步进电机DC24V）		LES25□30、50、75、100、125、150最大5最大5最大4008、16

回转驱动型2爪型气爪 MHR2/MDHR2

摆动气缸/气爪 » 气爪（平行开闭型）
    ・将摆动气缸作为驱动源，缩短了高度方向的尺寸。
    ・重复操作精度　±0.01mm。
    ・可对应洁净室等级10。
    ・带磁性开关（MDHR2系列：MDHR２）。
安全注意事项　气爪/共通注意事项
磁性开关/共通注意事项　气爪扩展品/选型
气爪订制规格　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列气缸内径（mm）
MHR2公称直径10，15，20，30
MDHR2公称直径10，15，20，30

薄型导杆式带锁气缸 MLGP-Z

气缸 » 带锁气缸
产品特点
    ・全行程、任何位置都可停止
    防止压力降低、残压排气时的落下
    ・由于导杆缩短、板厚变更、重量最大减轻17%
    ・导杆 最大缩短22mm(与以前产品MLGPM比较)
    ・2面均可直接安装小型磁性开关、耐强磁场磁性开关
安全注意事项　执行器/共通注意事项
磁性开关/共通注意事项　选型・技术资料　订制规格
特定开发品信息　环保认证(RoHS)
型号轴承系列动作方式缸筒内径（mm）锁紧机构
标准型滑动轴承型MLGPM单杆双作用20，25，32，40
50，63，80，100		弹簧锁紧
标准型滚珠衬套轴承型MLGPL单杆双作用20，25，32，40
50，63，80，100		弹簧锁紧

带导杆气缸／紧凑型 MGC

气缸
    ・导杆主体、前端板紧凑一体的直线移动单元 。
    ・小型、轻量、省空间。
安全注意事项　执行器/共通注意事项
磁性开关/共通注意事项　选型・技术资料　简易特注
订制规格　扩展品　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
形式系列动作方式缸径（mm）
标准型MGC双作用20，25，32，40，50

气动滑台 MXJ

气缸 » 滑台气缸
    ・由于前面安装部与滑台一体化，实现了前面与上面安装面的高精度、高剛性。
    ・移动平行度：0.005mm
    ・高：10mm／宽：20mm／长：43mm（MXJ4）
安全注意事项　执行器/共通注意事项
磁性开关/共通注意事项　选型・技术资料　快速选型表
订制规格　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
型号系列动作方式缸筒内径（mm）
标准型MXJ双作用4、6、8

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