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回转执行器 11-CRA1-Z

洁净/低发尘系列 » 回转执行器

    洁净系列

安全注意事项　适合磁性开关一览
特点/基本规格/洁净产品共通注意事项　回转执行器/共通注意事项
磁性开关/共通注意事项　环保认证(RoHS)
系列齿条形式尺寸摆动角度
11-CRA1-Z单齿条30，5090°，100°，180°，190°

气缸 10-/11-/21-/22-CM2-Z

洁净/低发尘系列 » 气缸

    洁净系列

安全注意事项　适合磁性开关一览
特点/基本规格/洁净产品共通注意事项　执行器/共通注意事项
磁性开关/共通注意事项　环保认证(RoHS)
形式系列动作方式缸筒内径 (mm)
标准型10-/11-/21-/22-CM2-Z单杆双作用20，25，32，40
标准型10-/11-/21-/22-CM2W-Z双杆双作用20，25，32，40
直接安装型10-/11-/21-/22-CM2R-Z单杆双作用20，25，32，40
端锁型10-/11-/21-/22-CBM2单杆双作用20，25，32，40

带外壳的吸油过滤器 FH99

液压元件 » 液压用元件
    ・体积小、重量轻　端盖・外壳材质：铝铸件。
    ・防止泵的气蚀。
    ・滤芯容易维护更换。
    ・可通过压差显示器和压差显示开关（CB-□□H）检测堵塞状态。
安全注意事项　液压缸/共通注意事项　目录/INDEX
特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列连接口径额定流量 L/min使用压力滤芯μm
（公称过滤粒度）
FH99INLET：1B～4B20～900负压滤网目数：
74，105，149

符合JIS规格的薄型液压缸 CHK□/CHDK□

液压元件 » 液压缸
    ・采用铝制主体，重量轻、体积小。
    ・可安装磁性开关。
    ・安装磁性开关后长方向的尺寸不变。
    ・符合JIS规格（CHKD系列）。
    ・带磁性开关（CHDK□系列：CHDKD、CHDKG）。
安全注意事项　液压缸/共通注意事项
磁性开关/共通注意事项　扩展品　技术资料
特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列公称压力（MPa）主体材质动作方式缸筒内径（mm）
CHKD10铝单杆双作用20，25，32，40，50
63，80，100
CHKG16铝单杆双作用20，25，32，40，50
63，80，100

锁定阀 IL201/211/220

过程控制元件 » 继动器/阀
    ・空气式过程控制系统中，空气源或供给空气配管系统发生异常时使用。
    　单作用型、双作用型：空气源回归正常状态前，应急保持操作部的位置。
    　三通口型： 发生异常时切换供给通口。
安全注意事项　过程自动化　环保认证(RoHS)
系列接管口径设定压力 (MPa)切断空气回路压力
IL201・211・220Rc1/40.14～0.7最高0.7MPa

过滤减压阀 订制规格 AW30～AW60-X430/X440

过程控制元件 » 减压阀
    ・耐特殊温度环境
    　将密封圈和树脂部件变更为特殊材料，以适于在寒冷地区或热带地区等特殊环境条件下使用。
安全注意事项　F.R.L/共通注意事项 过程自动化　环保认证(RoHS)
系列环境接管口径设定压力(MPa)过滤精度
AW30-2～AW60-2-X430低温环境用
-30～60℃		1/4～10.05～0.85
0.02～0.2		5μm
AW30-2～AW60-2-X440高温环境用
-5～80℃		1/4～10.05～0.85
0.02～0.2		5μm

气-气定位器 IP5000·5100

过程控制元件 » 定位器
    ・JIS F8007 IP55。
安全注意事项　过程自动化　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列接管口径供给空气压力 (MPa)输入压力 (MPa)
IP5000・5100Rc1/40.14～0.70.02～0.1

工业过滤器／容器系列 FGE

工业用过滤器/烧结金属滤芯 » 工业用过滤器
    ・中流量过滤（最大230L/min）。
    ・使用V型带，容易更换滤芯（带有防止盖子崩飞的构造）。
安全注意事项　工业用过滤器／共通注意事项　选型　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列连接口径最高使用压力使用温度（℃）
FGER1，20.7MPa最高80

缝阀 XGT

高真空元件 » 缝阀／门式阀
    ・适用于半导体装置等的负载锁定室和传送腔室
    　及传送腔室和工艺腔室之间的隔离阀。
安全注意事项　系统构成/扩展品　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列使用环境压力（Pa）使用流体开口窗尺寸
（高×宽）（mm）		动作压力
（MPa）
XGT大气压～10-6惰性气体类相关真空32×222
46×236
50×336		0.45～0.6

珀尔帖式温控器 HEC

温控器 » 温控器/恒温槽（珀尔帖式温控装置）
    ・可用于高精度温控的场合
    ・使用珀尔帖元件的无氟高精度温控器
    ・结构简单、可靠性高
    ・小型、低振动，故组装在装置内很容易
    ・可对应广泛的电源电压
    ・符合UL标准、CE认证

    ※提供样机试用服务。
    　请与最近的营业所联系。
    　营业所一览
安全注意事项　温控器/共通注意事项　特点　技术资料
关于温控器的保修　环保认证(RoHS)
系列设定温度
范围		冷却能力温度
稳定性		冷却方式循环液
HEC10～60℃230W
600W		±0.01～0.03℃珀尔帖式风冷清水
HEC10～60℃140W
320W		±0.01～0.03℃珀尔帖式水冷清水
乙二醇水溶液（20％）
HEC10～60℃600W
1200W		±0.01～0.03℃珀尔帖式水冷清水
氟化液

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