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摆台 11-/22-MSQ
洁净/低发尘系列 » 回转执行器
| 系列 | 齿条形式 | 尺寸 基本型 MSQB | 尺寸 高精度型 MSQA | 摆动角度 |
|---|---|---|---|---|
| 11-/22-MSQ | 双齿条 | 1，2，3，7，10，20， 30，50 | 1，2，3，7，10，20，30，50 | 0～190° |
气缸 10-/11-/21-/22-CG1-Z
洁净/低发尘系列 » 气缸
| 形式 | 系列 | 动作方式 | 缸筒内径 (mm) |
|---|---|---|---|
| 标准型 | 10-/11-/21-/22-CG1-Z | 单杆双作用 | 20，25，32，40，50，63，80，100 |
| 标准型 | 10-/11-CG1W-Z 21-/22-CG1W | 双杆双作用 | 20，25，32，40，50，63，80，100 |
| 直接安装型 | 10-/11-CG1R-Z 21-/22-CG1R | 双杆双作用 | 20，25，32，40，50，63 |
4・5通电磁阀 10-SYJ
洁净/低发尘系列 » 方向控制元件
| 系列 | 声速流导：C | 气缸驱动尺寸 | 消耗功率 (W) | 可用于真空 |
|---|---|---|---|---|
| 10-SYJ3000 | 0.46dm3(s・bar) | φ25 | 0.35 | -100kPa |
| 10-SYJ5000 | 0.83dm3(s・bar) | φ40 | 0.35 | -100kPa |
| 10-SYJ7000 | 2.9dm3(s・bar) | φ50 | 0.35 | -100kPa |
符合NAMUR规格的3/5通电磁阀 符合IP67 卫生型 VFN2120N-X23/-X36
过程控制元件 » 电磁阀
| 系列 | 流量特性 (Cv值／有效截面积） | 手动操作方法 | 线圈绝缘种类 | 消耗功率（W） |
|---|---|---|---|---|
| VFN2120N-X23/-X36 | 0.8／11mm2 | 衬套式 使用工具的锁定式 手动锁定式 | B类 | 0.5 |
铝制高真空L型阀 XL□
高真空元件 » 高真空阀
| 系列 | 操作方式 | 阀形式 | 轴密封 方式 | 用途 | 法兰 尺寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| XLA | 气控式 | 单作用 （N.C.） | 波纹管密封 | 无尘 清洁化 | 16～160 |
| XLAV（带电磁阀） | 气控式 | 单作用 （N.C.） | 波纹管密封 | 无尘 清洁化 | 16～160 |
| XLC | 气控式 | 双作用 | 波纹管密封 | 无尘 清洁化 | 16～160 |
| XLCV（带电磁阀） | 气控式 | 双作用 | 波纹管密封 | 无尘 清洁化 | 16～80 |
| XLF | 气控式 | 单作用 （N.C.） | O形圈密封 | 高速动作 高动作次数 | 16～160 |
| XLFV（带电磁阀） | 气控式 | 单作用 （N.C.） | O形圈 | 高速动作 高动作次数 | 16～160 |
| XLG | 气控式 | 双作用 | O形圈 | 高速动作 高动作次数 | 16～160 |
| XLGV（带电磁阀） | 气控式 | 双作用 | O形圈 | 高速动作 高动作次数 | 16～80 |
| XLD | 气控式 | 单作用 （N.C.） | 波纹管密封 O形圈密封 | 防止扬尘 防止泵过载 | 25～160 |
| XLDV（带电磁阀） | 气控式 | 单作用 （N.C.） | 波纹管密封 O形圈密封 | 防止扬尘 防止泵过载 | 25～160 |
| XLH | 手动式 | 手动 | 波纹管密封 | 无尘 清洁化 | 16～50 |
| XLS | 电磁式 | 单作用 （N.C.） | (波纹管平衡) | 无需空气 可搬运装置用 | 16，25 |
隔膜阀 高纯度工艺气体用 AP
工艺气体元件（特气阀） » 工艺气体用元件无润滑脂 氮气（N2）对应元件 » 工艺气体元件
| 系列 | 名称 | 形式 | 主体材质 |
|---|---|---|---|
| AP | 高纯度工艺气体用 | 气控型隔膜阀 | SUS316L 二次熔炼 |
| AP | 高纯度工艺气体用 | 手控型隔膜阀 | SUS316L 二次熔炼 |
| AP | 高纯度工艺气体用 | 计量阀 | SUS316L 二次熔炼 |
| AZ | 高纯度工艺气体用 | 气控型隔膜阀 | SUS316L |
| AZ | 高纯度工艺气体用 | 手控型隔膜阀 | SUS316L |
| AZ | 高纯度工艺气体用 | 计量阀 | SUS316L |
| AK | 一般气体用 | 气控型隔膜阀 | SUS316 |
| AK | 一般气体用 | 手控型隔膜阀 | SUS316 |
| AK | 一般气体用 | 计量阀 | SUS316 |
