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气-气定位器 IP5000·5100

过程控制元件 » 定位器
    ・JIS F8007 IP55。
系列接管口径供给空气压力 (MPa)输入压力 (MPa)
IP5000・5100Rc1/40.14~0.70.02~0.1

工业过滤器/容器系列 FGE

工业用过滤器/烧结金属滤芯 » 工业用过滤器
    ・中流量过滤(最大230L/min)。
    ・使用V型带,容易更换滤芯(带有防止盖子崩飞的构造)。
系列连接口径最高使用压力使用温度(℃)
FGER1,20.7MPa最高80

缝阀 XGT

高真空元件 » 缝阀/门式阀
    ・适用于半导体装置等的负载锁定室和传送腔室
     及传送腔室和工艺腔室之间的隔离阀。
系列使用环境压力(Pa)使用流体开口窗尺寸
(高×宽)(mm)
动作压力
(MPa)
XGT大气压~10-6惰性气体类相关真空32×222
46×236
50×336
0.45~0.6

铝材质高真空L型阀 XLA/C-100・160(-1)-X152

高真空元件 » 高真空阀
    ・波纹管耐久性提升(法兰尺寸100、160)
    ・寿命:200万次
    ・可实现装置的省空间化
     无排气方向限制(阀体侧←→波纹管侧 两方向均可)
     安装姿势的自由度提升
    ・轻量、紧凑
系列操作方式阀形式轴密封方式用途法兰尺寸
LA-100・160-X152气控式单作用
(N.C.)
波纹管密封无尘
清洁化
100,160
XLC-100・160-1-X152气控式双作用波纹管密封无尘
清洁化
100,160

珀尔帖式温控器 HEC

温控器 » 温控器/恒温槽(珀尔帖式温控装置)
    ・可用于高精度温控的场合
    ・使用珀尔帖元件的无氟高精度温控器
    ・结构简单、可靠性高
    ・小型、低振动,故组装在装置内很容易
    ・可对应广泛的电源电压
    ・符合UL标准、CE认证

    ※提供样机试用服务。
     请与最近的营业所联系。

     营业所一览
系列设定温度
范围
冷却能力温度
稳定性
冷却方式循环液
HEC10~60℃230W
600W
±0.01~0.03℃珀尔帖式风冷清水
HEC10~60℃140W
320W
±0.01~0.03℃珀尔帖式水冷清水
乙二醇水溶液(20%)
HEC10~60℃600W
1200W
±0.01~0.03℃珀尔帖式水冷清水
氟化液

隔膜泵 PA5000

隔膜泵 » 隔膜泵
    ・追加小型、节能、输出量增加的主体材质聚丙烯(PP)
    ・小型:高185mm×宽134mm×深202mm
    ・轻量:3.0kg(聚丙烯)
    ・接液泵体材质
     可从PP(聚丙烯)、铝合金、不锈钢中选择
    ・备有自动运转型、气控型
    ・自给式,无需注水
系列驱动方式输出量
(L/min)
接液泵体材质
PA51□□自动运转
气控
60铝合金(ADC12)
PA50□□自动运转
气控
63聚丙烯(PP)
PA52□□自动运转
气控
60不锈钢(SCS14)

氟树脂高级管接头/入珠式 LQ2

化学液用阀/管接头&针阀/管 » 管接头&针阀
氟树脂元件/氯乙烯元件  » 管接头&针阀/管子
    ・材质:New PFA。
    ・4重密封构造。
    ・采用减径方式,无需变更主体即可更换管子尺寸。

    ※LQ2系列已于2022年3月停产。
     请选择LQ1系列。
系列最高使用压力使用温度(℃)
LQ21.0MPa0~200

氯乙烯制快速排水阀 LVW

化学液用阀/管接头&针阀/管 » 化学液用阀
氟树脂元件/氯乙烯元件  » 聚氯乙烯制阀
    ・符合氯乙烯配管的JIS标准(JIS K 6742)
    ・适合流体:脱离子水(纯水)、化学液
    ・接液部材質:PVC(主体)
           PTFE(座阀)
           FKM(O形圈:标准)
           EPDM(O形圈:可选项)
    ・流量特性:Cv値 10~198
    ・使用接头连接,配管容易
系列适合管子外径孔口直径阀形式
LVW60φ32(公称直径25A)φ25双作用
LVW80φ38(公称直径32A)φ40双作用
LVW80φ48(公称直径40A)φ40双作用
LVW90φ60(公称直径50A)φ65双作用
LVW90φ75(公称直径65A)φ65双作用
LVW90φ89(公称直径80A)φ80双作用

化学液用气控阀/螺纹拧入型 LVA

化学液用阀/管接头&针阀/管 » 化学液用阀
氟树脂元件/氯乙烯元件  » 化学液用阀
无润滑脂 氮气(N2)对应元件 » 化学液用阀
    ・主体材质:New PFA/SUS/PPS
    ・膜片材质:可选择PTFE,EPR,NBR
    ・对应有机溶剂
     主体材质:SUS、执行器部材质:ADC、缓冲器材质:FKM/EPDM
    ・集装式型号:LLA2,LLA3,LLA4,LLA5
系列类型阀形式接管口径
适合管子外径
孔口直径
(mmφ)
LVA气控型
螺纹拧入型
N.C./N.O./双作用1/8~12~22
LVA气控型
可用于有机溶剂
N.C./N.O./双作用公制:6~19
英制:1/4~1
4~22

SUS316L 不锈钢管接头 VCK

流体控制元件 » 水性、溶剂类流体用阀
    ・由于无密封带,因此不绝缘。(高用于电压涂装)。
    ・易于在狭窄空间内进行配管的拆装。
系列材质/名称接管口径
VCKSUS316L
不锈钢管接头
G1/4

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