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增速继动器 IL100/XT240

过程控制元件 » 继动器/阀
产品特点
    ・从计测元件到操作部的配管距离非常长时或操作部的容量较大时使用。
    ・大幅提高操作部的驱动速度。
  • 增速继动器 IL100/XT240
    说明书
    系列 查看搜索结果
    IL100查看搜索结果
    XT240
安全注意事项　过程自动化　环保认证(RoHS)
系列接管口径输入、输出输入输出压力
IL100Rc1/4， 3/81：10.7MPa
XT240Rc. NPT 1/4 (SIG)，1 (SUP. OUT)1：10.7MPa

带过滤器的减压阀 1301/IW

过程控制元件 » 减压阀
安全注意事项　过程自动化　环保认证(RoHS)
系列接管口径设定压力 (MPa)过滤精度
IWRc1/40.02～0.2
0.02～0.3
0.02～0.5		5μm
1301Rc1/40.02～0.2
0.02～0.29
0.02～0.49		5μm

电-气定位器／智能定位器 IP8□00/IP8□01

过程控制元件 » 定位器
    ・防护等级：JISF8007 IP65（符合IEC 60529）。
    ・监测功能。
    ・防爆构造。
    　　电-气定位器：
    　　　TIIS耐压防爆构造（ExdⅡBT5）。
    　　　ATEX本质安全防爆构造（Ⅱ2G Ex h ibⅡCT5/T6 Gb）。
    　　智能定位器：
    　　　ATEX本质安全防爆构造（Ⅱ1G Ex h iaⅡCT4/T5/T6 Ga）。
    ・HART通信功能（智能定位器）。
安全注意事项　过程自动化　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
种类系列形式接管口径
(Rc, NPT, G)		供给空气压力
(MPa)		输入电流
电-气定位器IP8000杠杆型1/40.14～0.7DC4～20mA
电-气定位器IP8100回转型1/40.14～0.7DC4～20mA
智能定位器IP8001杠杆型1/40.14～0.7DC4～20mA
智能定位器IP8101回转型1/40.3～0.7DC4～20mA

烧结金属滤芯 EB/ES

工业用过滤器/烧结金属滤芯 » 烧结金属滤芯
    ・机械强度大、耐压能力强、耐腐蚀性强。
    ・可机械加工、铆接、钎接、焊接及同时烧结。
    ・洗净后可重复使用。
安全注意事项　环保认证(RoHS)
系列材质公称过滤精度
EB铜（1）2，5，10，20，40，70，100，120μm
（　）为准标准。
ES不锈钢（1）2，5，10，20，40，70，100，120μm
（　）为准标准。

工业过滤器／容器系列 FGD

工业用过滤器/烧结金属滤芯 » 工业用过滤器
    ・小流量过滤（最大60L/min）。
    ・可选择防带电规格（FGDE、FGDF）。
安全注意事项　工业用过滤器／共通注意事项　选型　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列连接口径最高使用压力使用温度（℃）
FGDRc3/8，1/2，3/40.7，1MPa最高80

真空无杆缸 CYV

高真空元件 » 真空无杆气缸
    ・可在真空环境内（1.3×10-4Pa）执行搬运工作的气缸。
安全注意事项　系统构成/扩展品　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列使用环境压力｛Pa（ABS）｝缸筒内径（mm）
CYV大气～1.3×10-415，32

对应300mm晶片 平行密封型缝阀 XGTP

高真空元件 » 缝阀／门式阀
    ・长寿命：300万次（常温时）
    ・发尘量：减少1/5以下（与以前产品相比）
    ・维护性提高
    　容易更换波纹管
    　可通过顶部拆装门（订制）
    ・安全对策
    　采用机械式端锁机构
  • 对应300mm晶片 平行密封型缝阀 XGTP
    说明书
    系列 查看搜索结果
    XGTP查看搜索结果
安全注意事项　系统构成/扩展品　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列使用环境压力（Pa）使用流体开口窗尺寸
（高×宽）（mm）		动作压力
（MPa）
XGTP大气压～10-6惰性气体50×3360.45～0.6

带大气开放阀的真空阀 XLJ

高真空元件 » 其他
    ・防止粗抽泵(回转泵)的油逆向流入腔室。
    ・大气开放阀一体结构减少作业工时。
安全注意事项　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列操作方式阀形式轴密封方式法兰尺寸
XLJ电磁式常闭、真空先导O形圈密封25、40

铝制高真空L型阀 XLA/C/F/G

高真空元件 » 高真空阀
产品特点
    ・采用铝制主体
    　均一的烤焙温度
    　轻量·紧凑
    　气体溢出少
    　重金属污染少
    ・可更换波纹管
安全注意事项　特定开发品信息　磁性开关规格　环保认证(RoHS)
系列操作方式阀形式轴密封
方式		用途法兰
尺寸
XLA-2气控式单作用
（N.C.）		波纹管密封无尘
清洁化		16～80
XLAV-2（带电磁阀）气控式单作用
（N.C.）		波纹管密封无尘
清洁化		16～80
XLC-2气控式双作用波纹管密封无尘
清洁化		16～80
XLF-2气控式单作用
（N.C.）		O形圈密封高速动作
高动作次数		16～80
XLFV-2（带电磁阀）气控式单作用
（N.C.）		O形圈密封高速动作
高动作次数		16～80
XLG-2气控式双作用O形圈密封高速动作
高动作次数		16～80

减压阀（压力调节器）高纯度工艺气体用 AP/SL/AZ 一般气体用/AK 背压阀/BP

流体控制元件 » 小型2、3通电磁阀
工艺气体元件（特气阀） » 工艺气体用元件
无润滑脂 氮气（N2）对应元件 » 工艺气体元件
    ・适合半导体等需要供给高洁净度气体的行业。
    ・主体材质为SUS316L二次熔炼或SUS316L。
    ・接触气体部分经过电解研磨处理。
    ・外部金属密封构造。
安全注意事项　工艺气体用元件/共通注意事项　扩展品
推荐型号　技术资料/用语解说　环保认证(RoHS)
系列形式用途主体材质
AP高纯度工艺气体用一段式减压阀SUS316L
二次熔炼
AP高纯度工艺气体用二段式减压阀SUS316L
二次熔炼
AP高纯度工艺气体用气控型减压阀SUS316L
二次熔炼
SL高纯度工艺气体用一段式减压阀SUS316L
二次熔炼
AZ高纯度工艺气体用一段式减压阀SUS316L
AZ高纯度工艺气体用气控型减压阀SUS316L
AK一般气体用一段式减压阀SUS316
AK一般气体用二段式减压阀SUS316
AK一般气体用气控型减压阀SUS316
BP高纯度用背压阀SUS316
BP一般气体用背压阀SUS316

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