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速度控制阀 10-AS

洁净/低发尘系列 » 驱动控制元件

    洁净系列

安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项　注意事项　环保认证(RoHS)
形式系列接管口径适合管子外径
弯头型
万向型		10-AS-FM3～1/2φ3.2～φ12

微型管接头 10-M

洁净/低发尘系列 » 管接头&管子

    洁净系列


    ・小型，拆装无需工具。
安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
管接头&管子/共通注意事项　环保认证(RoHS)
系列适合管子外径连接螺纹
10-Mφ3.2，φ4，φ6M3，M5，1/8

微雾分离器 10-/21-AFD-D

洁净/低发尘系列 » 三联件F.R.L./压力控制元件

    洁净系列

安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
F.R.L/共通注意事项　环保认证(RoHS)
系列接管口径过滤精度 (μm)
10-AFD20～40-D1/8，1/4，3/8，1/2，3/40.01
21-AFD20～40-D1/8，1/4，3/8，1/2，3/40.01

洁净型气体过滤器 SFB

洁净/低发尘系列 » 洁净气体过滤器・空气过滤器
    一次性型／直线型

    ・半导体工程用的小型一次性型。
安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
压缩空气净化元件/共通注意事项　环保认证(RoHS)
系列使用压力过滤精度
SFB300Max.1.0MPa
（真空：1.3×10－6kPa）		0.01μm

微雾分离器 10-AMD

洁净/低发尘系列 » 压缩空气净化过滤器系列

    洁净系列

安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
压缩空气净化元件/共通注意事项　环保认证(RoHS)
系列过滤精度（μm）额定流量L/min（ANR）接管口径
10-AMD0.01（95％捕捉粒径）200〜120001/8〜2

回转驱动型气爪 2爪型 11-/22-MHR2/MDHR2

洁净/低发尘系列 » 气爪

    洁净系列


    ・以回转执行器作为驱动源，降低了高度方向的尺寸且精度高。
    ・可对应洁净室等级10。
安全注意事项　适合磁性开关一览
特点/基本规格/洁净产品共通注意事项　气爪/共通注意事项
磁性开关/共通注意事项　环保认证(RoHS)
系列气缸内径 (mm)
11-/22-MHR2公称直径 10，15，20，30

摆台 11-/22-MSQ

洁净/低发尘系列 » 回转执行器

    洁净系列

安全注意事项　适合磁性开关一览
特点/基本规格/洁净产品共通注意事项　回转执行器/共通注意事项
磁性开关/共通注意事项　环保认证(RoHS)
系列齿条形式尺寸
基本型 MSQB		尺寸
高精度型 MSQA		摆动角度
11-/22-MSQ双齿条1，2，3，7，10，20， 30，501，2，3，7，10，20，30，500～190°

气缸 10-/11-/21-/22-CG1-Z

洁净/低发尘系列 » 气缸

    洁净系列

安全注意事项　适合磁性开关一览
特点/基本规格/洁净产品共通注意事项　执行器/共通注意事项
磁性开关/共通注意事项　环保认证(RoHS)
形式系列动作方式缸筒内径 (mm)
标准型10-/11-/21-/22-CG1-Z单杆双作用20，25，32，40，50，63，80，100
标准型10-/11-CG1W-Z　21-/22-CG1W双杆双作用20，25，32，40，50，63，80，100
直接安装型10-/11-CG1R-Z　21-/22-CG1R双杆双作用20，25，32，40，50，63

4・5通电磁阀 10-SYJ

洁净/低发尘系列 » 方向控制元件

    洁净系列

安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
3・4・5通电磁阀 共通注意事项　环保认证(RoHS)
系列声速流导：C气缸驱动尺寸消耗功率 (W)可用于真空
10-SYJ30000.46dm3(s・bar)φ250.35-100kPa
10-SYJ50000.83dm3(s・bar)φ400.35-100kPa
10-SYJ70002.9dm3(s・bar)φ500.35-100kPa

吸油防护装置 FHG

液压元件 » 液压用元件
    ・防止滤出的杂质脱落到油箱内。
    ・无需更换冲洗油。
    ・维护简单且不会有空气混入。
    ・给油口过滤器、真空过滤器、空气、通气装置一体化。
    ・可通过压差显示器和压差显示开关（CB-□□H）检测堵塞状态。
安全注意事项　液压缸/共通注意事项　目录/INDEX
特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列连接口径额定流量 L/min使用压力滤芯μm
（公称过滤精度）
FHG1/2B～3B18～450负压滤网目数：
74，105，149

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