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符合欧盟F-Gas（含氟气体）法规的冷冻式温控器 HRZ-F

温控器 » 温控器（循环液温控装置）
产业用通信元件/无线系统 » 其他　对应RS232C的元件
产业用通信元件/无线系统 » 其他　对应RS485的元件
温控器 » 温控器（循环液温控装置）High performance/Type & Inverter Type zh-cn
产品特点
    ・采用DC变频式压缩机和变频泵实现更大幅度的节能
    ・节能
    　按照客户设备的负载， 对压缩机、泵的电机回转数进行变频控制
    　消耗功率：Max65％削減
    　冷却水量：Max67％削減
    ・高性能
    　温度稳定性：±0.1℃（负载稳定时）
    　冷却时间：最多缩短46％（与本公司产品相比）
    ・使用冷媒：R410A（HFC）／R448A（HFC/HFO）
安全注意事项　温控器/共通注意事项　特点　技术资料
关于温控器的保修　环保认证(RoHS)
系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液
HRZ-F－20～40℃
10～60℃
－20～90℃		2kW, 4kW
8kW, 10kW		±0.1℃水冷冷冻式氟化液
乙二醇水溶液
清水及去离子水（纯水）

温控器/高性能型 HRZ

温控器 » 温控器（循环液温控装置）
产业用通信元件/无线系统 » 产业用通信元件　对应DeviceNet的元件
产业用通信元件/无线系统 » 其他　对应RS232C的元件
产业用通信元件/无线系统 » 其他　对应RS485的元件
温控器 » 温控器（循环液温控装置）High performance/Type & Inverter Type zh-cn
    ・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能，广泛用于半导体行业
    ・符合各种安全规格
    ・符合UL, SEMI规格以及CE标识

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  • 温控器/高性能型 HRZ
    说明书
    シリーズ 冷却能力 查看搜索结果
    HRZ1kW, 2kW
    4kW, 8kW    		查看搜索结果
  • 温控器/高性能型 HRZ
    自我宣告书
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    HRZ1kW, 2kW
    4kW, 8kW    		查看搜索结果
安全注意事项　温控器/共通注意事项　特点　技术资料
关于温控器的保修　环保认证(RoHS)
シリーズ设定温度
范围		冷却能力温度
稳定性		冷却方式循环液
HRZ－20～40℃
20～90℃
－20～90℃		1kW, 2kW
4kW, 8kW		±0.1℃水冷冷冻式氟化液
清水
脱离子水（纯水）
乙二醇水溶液（60％）

温控器/高性能变频型 HRZ

温控器 » 温控器（循环液温控装置）
产业用通信元件/无线系统 » 其他　对应RS232C的元件
产业用通信元件/无线系统 » 其他　对应RS485的元件
    ・在HRZ系列的高性能基础上，采用了DC变频压缩机，实现了节能
    ・温度范围和冷却能力范围大
    ・用于刷新循环块的半导体装置等，可平缓地对应过程条件的变化
    ・符合UL, SEMI规格及CE标识

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  • 温控器/高性能变频型 HRZ
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  • 温控器/高性能变频型 HRZ
    自我宣告书
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    HRZ10kW查看搜索结果
安全注意事项　温控器/共通注意事项　特点　技术资料
关于温控器的保修　环保认证(RoHS)
系列设定温度
范围		冷却能力温度
稳定性		冷却方式循环液
HRZ－20～90℃
10～60℃		10kW±0.1℃水冷冷冻式氟化液
清水
脱离子水（纯水）
乙二醇水溶液（60％）

双温控器/高性能变频型 HRZD

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产业用通信元件/无线系统 » 其他　对应RS485的元件
    ・1台深冷器可分别控制2个系統
    ・双变频器：DC变频冷冻机与变频泵实现了大幅节能
    ・省空间：设置面积减小23％
    ・省配线、省空间、省工时：电源线缆只有1根，冷却水配管仅有1个系統
    ・符合SEMI规格、CE标识

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  • 双温控器/高性能变频型 HRZD
    说明书
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    HRZD9.5kW×2查看搜索结果
  • 双温控器/高性能变频型 HRZD
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    HRZD9.5kW×2查看搜索结果
安全注意事项　温控器/共通注意事项　特点　技术资料
关于温控器的保修　环保认证(RoHS)
系列设定温度
范围		冷却能力温度
稳定性		冷却方式循环液
HRZD－30～90℃9.5kW×2±0.1℃水冷冷冻式氟化液
乙二醇水溶液（60％）

油雾器 AL-A

F.R.L组件/压力控制元件 » 三联件F.R.L.
产品特点
    ・提高目视确认性&安全性
    　用透明杯体保护罩包覆杯体
    ・准标准规格／1000cm3储液罐（AL30~AL60）

    ※AL-A将于2025年3月停产。
    　请选择AL-D。
安全注意事项　F.R.L/共通注意事项　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列接管口径储油量（cm3）
AL10～60-AM5，1/8，1/4，3/8，1/2，3/4，17～135

水冷式温控器/高性能型 HRW

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温控器 » 温控器（循环液温控装置）High performance/Type & Inverter Type zh-cn
    ・与工厂内循环水直接热交换
    ・适合在不需要制冷的范围内温控时使用
    ・具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置，
    　在半导体过程控制装置上成果较多
    ・符合UL、SEMI标准、CE认证
    ・可选择变频型

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  • 水冷式温控器/高性能型 HRW
    说明书
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    HRW2kW, 8kW
    15kW, 30kW    		查看搜索结果
  • 水冷式温控器/高性能型 HRW
    自我宣告书
    系列 冷却能力 查看搜索结果
    HRW2kW, 8kW
    15kW, 30kW    		查看搜索结果
安全注意事项　温控器/共通注意事项　特点　技术资料
关于温控器的保修　环保认证(RoHS)
系列设定温度
范围		冷却能力温度
稳定性		冷却方式循环液
HRW20～90℃2kW, 8kW
15kW, 30kW		±0.3℃水冷却式
（无压缩机）		氟化液
清水
脱离子水（纯水）
乙二醇水溶液（60％）

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