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洁净型空气过滤器　中空类滤芯 SFD

气源处理元件 » 压缩空气清净化过滤器
洁净/低发尘系列 » 压缩空气净化过滤器系列
无润滑脂 氮气（N2）对应元件 » 气源处理元件
    ・内置中空类滤芯
    ・压降：0.03MPa（1次压0.7MPa、最大流量时）
    ・减少了污染环境的化学物质，符合RoHS
    ・金属壳体型(订制)
    　不锈钢壳体、铝制壳体
安全注意事项　压缩空气净化元件/共通注意事项　选型・技术资料　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列种类额定流量 L/min (ANR)
(进口压力 0.7 MPa时)		使用压力过滤精度
SFD100一次性
（不可更换滤芯）		～100L/min最高1.0MPa0.01μm
（捕捉效率：99.99%）
SFD110一次性
（不可更换滤芯）		～120L/min最高1.0MPa0.01μm
（捕捉效率：99.99%）
SFD200卡盒型
（可更换滤芯）		～500L/min最高1.0MPa0.01μm
（捕捉效率：99.99%）

带前置过滤器的微雾分离器 AMH

气源处理元件 » 压缩空气清净化过滤器
    ・AM系列＋AMD系列一体化，缩小安装空间，减少配管工时，实现低成本。
    ・分离除去浮游微粒状的油微粒子，除掉0.01μm以上的碳粉和灰尘。
    ・请作为需要高洁净度空气的精密测量仪器和洁净室用压缩空气的前置过滤器使用。
安全注意事项　压缩空气净化元件/共通注意事项
选型・技术资料　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列过滤精度（μm）额定流量 L/min（ANR）接管口径
AMH0.01（捕捉效率99.9％）200～120001/8～2

小型真空发生器 ZA

真空用元件 » 真空发生器、真空泵系统
    ・全宽：9.9mm、全长：72.9mm、全高：52.5mm、质量：50g。
    ・可动部可设置。
    ・缩短了与吸盘之间的管子长度，响应性提高。
    ・可集装化。
安全注意事项　真空用元件/共通注意事项　扩展品/选型
特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列喷嘴径
(mm)		最大吸入流量
［L/min(ANR)]		空气消耗量
［L/min(ANR)]		适合吸盘
(mm)
ZA1050.54122～13
ZA1070.78282～20

4・5通气控阀 VSA4□20/4□30/4□40

方向控制元件 » 气控阀
    ・主阀为金属密封的构造。
安全注意事项　选型・技术资料　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列流量特性
A/B→EA/EB
C［dm3/（ s・bar）］		流量特性
A/B→EA/EB
b		流量特性
A/B→EA/EB
Cv		气缸驱动
尺寸
VSA4□205.60.511.4φ80
VSA4□309.60.172.4φ100
VSA4□40160.324.2φ140

4通电磁阀／直动座阀式 VQD1000

方向控制元件 » 直动式3、4、5通电磁阀
    ・主阀结构上没有滑动密封，可订制禁油处理规格（非标品）。
    　同时也不向外部排气。
    ・具有高速且稳定的响应性。
    ・可真空使用。
    ・集装阀岛型号：VV4QD12，VV4QD15
安全注意事项　3・4・5通电磁阀共通注意事项
选型・技术资料　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列流量特性
4/2→5/3（A/B→EA/EB）
C［dm3/（ s・bar）］		流量特性
4/2→5/3（A/B→EA/EB）
b		流量特性
4/2→5/3（A/B→EA/EB）
Cv		气缸驱动
尺寸		消耗功率（W）
VQD10000.270.280.07φ252.0

大型3通电磁阀 VP3145/3165/3185

方向控制元件 » 先导式3通电磁阀
    ・阀的容量大，排气阻力小
    ・N.C./N.O.切换简单

    ※VP3145/3165/3185 (AC线圈)将于2024年９月停产。
    　请选择VP3145的替代品VG342。
安全注意事项　3・4・5通电磁阀共通注意事项
选型・技术资料　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列流量特性
2→3（OUT→EXH）
C［dm3/（ s・bar）］		流量特性
2→3（OUT→EXH）
b		流量特性
2→3（OUT→EXH）
Cv		消耗
功率
（W）		可真空使用
VP3145260.357.012－101.2kPa
VP3165有效截面积：
330mm2		有效截面积：
330mm2		有效截面积：
330mm2		12－101.2kPa
VP3185有效截面积：
670mm2		有效截面积：
670mm2		有效截面积：
670mm2		12－101.2kPa

带节流阀的真空破坏阀 SJ3A6

方向控制元件 » 先导式4、5通电磁阀
产品特点
    ・内置2个滑阀。
    ・能够用1个阀来控制真空吸附和破坏。
    ・阀宽10mm（与SJ3000系列尺寸相同）
    ・带有能够调节破坏空气流量的节流阀。
    ・真空侧、破坏侧分别内置可更换的过滤器。
    ・可与4通电磁阀SJ2000/SJ3000混装（订制）
    ・集装型号：SS3J3
安全注意事项　3・4・5通电磁阀共通注意事项
选型・技术资料　特定开发品信息　环保认证(RoHS)

3通残压排气阀 VP546E/746E

F.R.L组件/压力控制元件 » 模块式组合元件
    ・流量特性 C［dm3/ （s·bar）］
    　VP546E：7.5
    　VP746E：12.6
    ・可选择带软起动功能
    ・消耗功率：0.35W（消耗功率）
    ・先导流路内置单向阀
    　（对应一次侧的压力变动造成的先到压力下降）
安全注意事项　3・4・5通电磁阀共通注意事项
选型・技术资料　环保认证(RoHS)　模块式组合元件(小册子)
系列适合组合元件
VP546EAC30-D
VP746EAC40-D

多通道控制器 10-PSE200A

洁净/低发尘系列 » 压力开关/压力传感器

    洁净系列


    ・最多可连接4个压力传感器！
    　集中管理，减小设置空间
    　1台显示器可管理不同用途的传感器
    ・可边观察测定值边进行设定
    ・对应IO-Link
安全注意事项　特点/基本规格/洁净产品共通注意事项
压力开关・流量开关/共通注意事项　环保认证(RoHS)
系列设定压力（压差）范围适合压力传感器
10-PSE200A−0.2～2.1kPa
10～−105kPa
−105～105kPa
−10～105kPa
−50～525kPa
−0.105～1.05MPa		10-PSE550
10-PSE531/PSE541/PSE561
10-PSE533/PSE543/PSE563
10-PSE532
10-PSE564
10-PSE530/PSE540/PSE560

洗净液用／快速更换滤芯过滤器 FQ1

工业用过滤器/烧结金属滤芯 » 工业用过滤器
    ・小流量过滤（最大30L/min）。
    ・无需工具。
    ・更换滤芯仅需60秒。
安全注意事项　工业用过滤器／共通注意事项　选型　特定开发品信息　环保认证(RoHS)
系列连接口径最高使用压力使用温度（℃）
FQ1Rc1/2，3/4，11MPa最高80

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