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N2ガス／エア供給ライン


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アルミ製ワンタッチ着脱 高真空L型バルブ XLAQ・XLDQ

    ・ワンタッチ着脱（工具レス）
  • 2D/3D CAD

    型式検索により2D/3D CADデータを様々なデータ形式で出力できます。

    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    2D CAD
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安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　オートスイッチ仕様　グリーン対応（RoHS）
シリーズ操作方式軸シール
方式		弁形式材質フランジ
サイズ
XLAQエア
オペレート		ベローズシール単動
（N.C.）		ボディ：アルミ
ベローズ：SUS316L		16～50
XLDQエア
オペレート		ベローズシール
Oリングシール		単動
（N.C.）		ボディ：アルミ
ベローズ：SUS316L		40，50

ステンレス製高真空L型／ストレート型バルブ XM/XY

    ・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造。
    ・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）

    注）ストレート型にサイズ16はありません。
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • ステンレス製高真空L型／ストレート型バルブ XM/XY
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XMA/XYA検索結果を表示
    XMC/XYC検索結果を表示
    XMD/XYD検索結果を表示
    XMH/XYH検索結果を表示
安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　オートスイッチ仕様　グリーン対応（RoHS）
シリーズ操作方式軸シール
方式		弁形式材質フランジ
サイズ
XMA/XYAエア
オペレート		ベローズシール単動
（N.C.）		ボディ：SCS13（SUS304相当）
ベローズ：SUS316L		16～80 注）
XMC/XYCエア
オペレート		ベローズシール複動ボディ：SCS13（SUS304相当）
ベローズ：SUS316L		16～80 注）
XMD/XYDエア
オペレート		ベローズシール
Oリングシール		単動
（N.C.）		ボディ：SCS13（SUS304相当）
ベローズ：SUS316L		25～80
XMH/XYH手動ベローズシール手動ボディ：SCS13（SUS304相当）
ベローズ：SUS316L		16～50 注）

常時閉型高真空電磁弁 XSA

製品特長
    ・最低使用圧力：1×10-6Pa(abs)
    ・リーク量：内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s
    ・2種の継手、めねじを用意
    ・消費電力：最大25％削減
    ・質量：最大18％削減　0.5kg→0.41kg
  • 2D/3D CAD

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    2D CAD
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  • 常時閉型高真空電磁弁 XSA
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XSA検索結果を表示
    XSA検索結果を表示
  • 常時閉型高真空電磁弁 XSA
    自己宣言書
    シリーズ 検索結果を表示
    XSA検索結果を表示
    XSA検索結果を表示
安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ弁形式使用流体配管接続方式配管サイズ
XSA常時閉空気
不活性ガス		フェースシール継手
コンプレッション継手		1/4, 3/8
XSA常時閉空気
不活性ガス		Rc, NPTめねじ1/8, 1/4, 3/8

スムーズベントバルブ XVD

    ・バルブとニードル弁一体化構造配管スペース1/4（従来比）
    ・シート部にメタルダイヤフラム採用でパーティクルを大幅低減。
    ・初期給気、主給気ともに流量調整可能。
  • 2D/3D CAD

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    オプション、マニホールド等搭載した状態で出力できます。

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    2D CAD
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  • スムーズベントバルブ XVD
    取扱説明書
    シリーズ 検索結果を表示
    XVD検索結果を表示
安全上のご注意　システム構成図/各ライン・機器の役割　シリーズバリエーション　用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ弁形式使用流体配管接続方式配管サイズ
XVD常時閉
（加圧開・スプリングシール）		窒素、空気、
不活性ガス等		VCR®
Swagelok®		1/4B

減圧弁（圧力調整器）　高純度プロセスガス用 AP/SL/AZ 一般ガス用/AK 排圧弁/BP

    ・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
    ・ボディ材質はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
    ・接ガス部電解研磨処理。
    ・外部メタルシール構造。
安全上のご注意　プロセスガス用機器/共通注意事項　バリエーション　推奨機種　技術資料/用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ名称形式ボディ材質
AP高純度プロセスガス一段式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガス二段式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガスエアオペレート式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
SL高純度プロセスガス一段式減圧弁SUS316L
ダブルメルト
AZ高純度プロセスガス一段式減圧弁SUS316L
AZ高純度プロセスガスエアオペレート式減圧弁SUS316L
AK一般ガス用一段式減圧弁SUS316
AK一般ガス用二段式減圧弁SUS316
AK一般ガス用エアオペレート式減圧弁SUS316
BP高純度用背圧弁SUS316
BP一般ガス用背圧弁SUS316

ダイヤフラムバルブ　高純度プロセスガス用 AP

    ・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
    ・ガスの遮断弁として使用。
    ・接ガス部にスプリングがなく、駆動部もダイヤフラムにより隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。
安全上のご注意　プロセスガス用機器/共通注意事項　バリエーション　推奨機種　技術資料/用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ名称形式ボディ材質
AP高純度プロセスガス用エアオペレートダイヤフラムバルブSUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガス用マニュアルタイプダイヤフラムバルブSUS316L
ダブルメルト
AP高純度プロセスガス用メータリングバルブSUS316L
ダブルメルト
AZ高純度プロセスガス用エアオペレートダイヤフラムバルブSUS316L
AZ高純度プロセスガス用マニュアルタイプダイヤフラムバルブSUS316L
AZ高純度プロセスガス用メータリングバルブSUS316L
AK一般ガス用エアオペレートダイヤフラムバルブSUS316
AK一般ガス用マニュアルタイプダイヤフラムバルブSUS316
AK一般ガス用メータリングバルブSUS316

チェック弁／バキュームジェネレータ／フロースイッチ AP/AZ 一般ガス用/AK

    ［チェック弁］
    ・背圧による流体の逆流を防止。
    ・内部可動部品はOリングのみのシンプル構造。
    ・スプリングレス構造により振動、チャタリング等によるパーティクルの発生、下流側の圧力変動を抑制。
    ［バキュームジェネレータ］
    ・真空発生機器。
    ・ガスボンベ交換時、配管中に残った不要なガスの排出用途に対応。
    ［フロースイッチ］
    ・配管の破断等による過剰流量の検出。
安全上のご注意　プロセスガス用機器/共通注意事項　バリエーション　推奨機種　技術資料/用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ名称ボディ材質
APチェック弁SUS316Lダブルメルト
APバキュームジェネレータSUS316Lダブルメルト
APフロースイッチSUS316Lダブルメルト

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