サーモチラー（循環液温調装置）高機能タイプ 高機能インバータタイプ
欧州Fガス規制対応サーモチラー HRZ-F
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・DCインバータ冷凍機とインバータポンプでさらに大幅な省エネを実現。
・省エネ
冷凍機、ポンプのモータ回転数をお客様装置側負荷に
応じてインバータ制御
消費電力：Max65％削減
放熱水量：Max67％削減
・高性能
温度安定性：±0.1℃（負荷安定時）
冷却時間：Max46％短縮（当社比）
・使用冷媒：R410A（HFC）／R448A（HFC/HFO）
| シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZ-F | －20～40℃ 10～60℃ －20～90℃ | 2kW, 4kW 8kW, 10kW | ±0.1℃ | 水冷冷凍式 | フッ素化液 エチレングリコール水溶液 清水・脱イオン水（純水） |
水冷却式サーモチラー／高機能タイプ HRW
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・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で
半導体プロセス装置に実績多数。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
※貸出サンプルをご用意しています。
最寄りの営業所へお申し付けください。
営業所一覧
| シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRW | 20～90℃ | 2kW, 8kW 15kW, 30kW | ±0.3℃ | 水冷却式 （冷凍機なし） | フッ素化液 清水 脱イオン水（純水） エチレングリコール水溶液（60％） |
サーモチラー／高機能タイプ HRZ
中国・台湾・韓国・シンガポール
マレーシア・日本のみ限定出荷品
マレーシア・日本のみ限定出荷品
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・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で
半導体プロセス装置に実績多数。
・各種安全規格に対応。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
| シリーズ | 設定温度 範囲 | 冷却能力 | 温度 安定性 | 冷却方式 | 循環液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZ | －20～40℃ 20～90℃ －20～90℃ | 1kW, 2kW 4kW, 8kW | ±0.1℃ | 水冷冷凍式 | フッ素化液 エチレングリコール水溶液（60％） 清水・脱イオン水（純水） |
