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サーモチラー（循環液温調装置）SEMI規格適合

冷却式サーモチラー HRW

    ・工場内循環水との直接熱交換器。
    ・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
    ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で
    　半導体プロセス装置に実績多数。
    ・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
    ・インバータタイプの選択可能。

    ※貸出サンプルをご用意しています。
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シリーズ設定温度
範囲		冷却能力温度
安定性		冷却方式循環液
HRW20～90℃2kW, 8kW
15kW, 30kW		±0.3℃水冷却式
（冷凍機なし）		フッ素化液
清水
脱イオン水（純水）
エチレングリコール水溶液（60％）

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