- 电磁阀
- 现场总线元件
(串行传送系统) - 气缸
- 磁性开关
- 摆动气缸
- 真空用元件
- 空气干燥器
- 精密减压阀/ 电-气比例阀
- 模块式 F.R.L
- 增压阀
- 自动排水器
- 管接头
- 压力开关
- 流量开关
- 两通阀
- 化学液用阀
(氟素树脂元件) - 温调器
- 电缸



|温调器
达到水质标准的自来水可以用作循环液。此外,循环液是纯水(去离子水)时,应选定可选件-M(去离子水配管对应)。
属于循环液电路的接液部材质不使用铜类材料的规格。
〔注1:关于水质标准,请参考HRS的产品单独注意事项〕
〔注2:可支持的电阻率的上限值…HRS□-M:~4.5MΩ·cm,…HRS/HRSH(标准):~1MΩ·cm〕
〔注3:另售保持电阻率的DI过滤器〕