■省空间:高37mm× 宽30mm
 
高:降低57mm(60%)
 
可设置于狭小的空间
 
 
■双AC方式 IZT42系列(电位振幅降低的规格)
 
采用SMC独有的双AC方式,可降低电位振幅。
即使是对静电敏感的设备,也可防止静电放电(ESD)的破坏,去除静电。
即使近距离设置也可降低目标工件的电位振幅。
 
 
    
        双AC 方式 IZT42
       同时释放+离子和-离子,+/-离子均等地到达工件,因此电位振幅较小。
         
     
    
        AC 方式 IZT40/IZT41
        +离子和-离子以带状、交替地到达工件,因此除电效率提高。
         
     
 
    
        玻璃基板的除静电
         
        从平台上拾取时,防止由剥离带电导致的经典破坏
     
    
        电路基板的除静电
         
        
        ・防止元件因放电而损坏
		
        ・防止尘埃附着
        
     
 
    
        ■AC 方式系列 IZT41 系列
        带自动平衡功能
         
     
    
        ■标准型 IZT40 系列
        操作简单,接通电源即可使用
         
        可选AC适配器
        (仅可在一根棒体时使用AC适配器)
         
     
 
■自由的布局
控制器和高压电源组件可分离安装
 
1 台控制器最多可连接4根棒体
 
    
        可选择供气口:右侧/左侧/两侧
         
     
    
        可选择棒体/电缆长度
         
     
 
■维护性提高
    
		采用低维护构造的电极针卡盘
        从电极针周围排出压缩空气,可使电极针不易变脏
         
     
    
        
        2 种电极针材质
钨/单晶硅(硅晶片用)
         
     
可选高速除静电卡盘、节能除静电卡盘
 
采用插头连接方式,插拔简单
只可更换棒体
 
 
■安全功能
    
		防止电极针卡盘掉落的功能
        两步锁定
         
     
    
        防掉盖
        可更有效地防止电极针卡盘掉落
         
     
 
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