高真空阀
常闭型高真空电磁阀 XSA
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・最低使用压力：1×10-6Pa(abs)
・泄漏量：内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s。
・有2种接头和内螺纹可选。
・消耗功率：最多削减25％。
・质量：最多减小18％ 0.5kg→0.41kg。
| 系列 | 阀形式 | 使用流体 | 配管连接方式 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| XSA | 常闭 | 空气 惰性气体 | 面密封接头 卡套式接头 | 1/4, 3/8 |
| XSA | 常闭 | 空气 惰性气体 | Rc, NPT内螺纹 | 1/8, 1/4, 3/8 |
・泄漏量：内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s。
・有2种接头和内螺纹可选。
・消耗功率：最多削减25％。
・质量：最多减小18％ 0.5kg→0.41kg。
