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流量开关

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2色显示式数字式流量开关 PFM

    ・可用于空气、N2、Ar、CO2
    ・无润滑脂规格。
    ・与流量调整阀一体化。
    ・体积小、重量轻、省空间。

    ※PFM系列于2022年3月停止生产。
     请选择PF2M710/725/750/711系列。
系列额定流量范围(L/min)
PFM0.2~10(0.2~5)
0.5~25(0.5~12.5)
1~50(1~25)
2~100(2~50)
( )为CO2的场合

2色显示式数字式流量开关 PFMB

    ・干燥空气、N2
    ・无润滑脂规格
    ・与流量调整阀一体化
    ・体积小、省空间

    ※PFMB7201系列已于2021年9月停产。
     请选择PF2M721系列。
系列额定流量范围 (L/min)
PFMB2~200
5~500
10~1000
20~2000

2色显示式数字式流量开关/低发尘规格 PFM7/PFMB7-X300

    ・低发尘规格
     用于洁净室环境中,洁净空气吹气的流量管理。
    ・接触流体部分的金属材质:SUS304。
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  • 2色显示式数字式流量开关/低发尘规格 PFM7/PFMB7-X300
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系列额定流量范围(L/min)
PFM7-X300PFM7-X300

3色显示式 数字式流量开关/大流量型 PF3A□H(-L)

    ・适合流体:空气, N2
    ・流量范围:最大12,000L/min
    ・范围能力 100:1
     1台流量开关可计测大范围的流量
    ・耐冷凝水、耐异物能力提高
    ・压力损失降低75%(20kPa→5kPa)
    ・贯通构造
    ・对应IO-Link
    ・可连接气动组件(模块型)
    ・有带4画面压力/温度传感器(模块型)的型号
     (积累)可同时计测流量/压力/温度
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系列额定流量范围(L/min)
PF3A□H(-L)10~1000
20~2000
30~3000
60~6000
120~12000

流量传感器 PFMV5/PFGV301

    ・用于微小工件的吸附确认
    ・重复精度±2%F.S.
    ・响应速度5ms以下,耐压500kPa
    ・无润滑脂、符合RoHS
    ・电压显示器 一台可对应全范围
    ・相关元件:真空过滤器 ZFC050系列
系列额定流量范围(L/min)
PFMV0.0~0.1
0~0.5
0~1
0~3
-0.5~0.5
-1~1
-3~3

空气用数字式流量开关 PF2A

    ・有一体型和显示器分离型。
    ・开关输出、累积脉冲输出、模拟输出。
    ・可切换累积流量、瞬时流量。
    ・IP65。
    ・4通道流量显示器。
     可将4个不同流量范围的开关连接于1个控制器。

    ※PF2A7□H系列于2018年1月进行产品变更,请选择 PF3A7□H系列。
系列额定流量范围(L/min)
PF2A1~10
5~50
10~100
20~200
50~500
150~3000
300~6000
600~12000

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