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製程氣體用元件

膜片閥　高純度製程氣體用 AP

    ・對應半導體產業等，供給高清淨度氣體用途
    ・做為氣體遮斷閥使用
    ・接氣體部沒有彈簧，驅動部也被膜片隔離，
    　流路的死角小，並抑制粉塵的發生
安全上的注意　製程氣體用元件/共通注意事項　組合變化
推薦機種　技術資料/用語解說
綠色對應 (RoHS)
系列型式本體材質配管連接配管尺寸
AP氣控型SUS316L
二次熔煉		面密封接頭
焊接管		1/4''，3/8''
1/2''，3/4''
AP手動操作型SUS316L
二次熔煉		面密封接頭
焊接管		1/4'', 3/8''
1/2'', 3/4''

產品特點

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