●微小工件的吸附确认
●重复精度: ± 2% F.S.以下
●响应速度: 5 ms 以下、耐压: 500 kPa
●无润滑脂、对应RoHS
●一个电压监控器即可对应全部量程
●相关元件:真空过滤器ZFC050系列

可选项信息	可选项的值	值的信息
测定流量范围	10	0.0～1.0L/min
使用说明书	-	附使用说明书(日英双语)
可选项	A	带L型托架