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型号: 2022年12月生产中止.(延长停止销售日期 SMC NEWS NO.BMZ-F002A) →新系列 |
规格: HRZ 系列 循环液温控装置 温控器 双变频式
●在HRZ系列高性能的基础上,采用了DC变频压缩机,实现了节能化
●兼具广泛的温度调节范围和冷却能力范围
●适用于更新周期短的半导体装置、工艺条件变化也能灵活应对
●符合UL, SEMI标准、CE规格
●兼具广泛的温度调节范围和冷却能力范围
●适用于更新周期短的半导体装置、工艺条件变化也能灵活应对
●符合UL, SEMI标准、CE规格
可选项信息 | 可选项的值 | 值的信息 |
---|---|---|
冷却能力 | 010 | 10kW |
循环液种类 | 2 | 循环液种类:清水/纯水;设定温度范围:10~60℃ |
可选项 | - | 无 |