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惰性气体、CDA(clean dry air)管路
洁净型气体过滤器 SF
气源处理元件 » 压缩空气清净化过滤器无润滑脂 氮气（N2）对应元件 » 气源处理元件
| 形式 | 系列 | 使用压力 | 过滤精度 |
|---|---|---|---|
| 夹头型 圆盘式 | SFA100・200・300 | 最高0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕捉效率99.99％） |
| 夹头型 直通式 | SFB100 | 最高0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕捉效率99.99％） |
| 一次性型 直通式 | SFB300 | 最高0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕捉效率99.99％） |
| 一次性型 多盘型 | SFC100 | 最高0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕捉效率99.99％） |
