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生产设施 设备配管元件 »
惰性气体、CDA(clean dry air)管路
洁净型空气模块 LLB
气源处理元件 » 压缩空气清净化过滤器洁净/低发尘系列 » 压缩空气净化过滤器系列
无润滑脂 氮气（N2）对应元件 » 气源处理元件
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・将洁净元件模块化（削减配管工时／省空间）。
可轻松地得到洁净空气。
・过滤精度：0.01μm（捕捉效率99.99％）。
・接触流体部分：无润滑脂、无硅。
・在洁净室内进行双重捆包后出厂。
・有24种组合。
注）入口空气条件 ISO 8573-1 品质等级 相当于1.4.1～1.6.1。
| 系列 | 使用流体 | 设定压力 | 流量范围 L/min（ANR） |
|---|---|---|---|
| LLB3 | 洁净空气 N2气体 注） | 0.05～0.4MPa | 5～100 |
| LLB4 | 洁净空气 N2气体 注） | 0.05～0.4MPa | 50～500 |
