
|耐水
|耐薬品・耐純水(フッ素樹脂)
|耐ガス
蓚酸アルマイト処理により塩酸ガスに対する腐食性が向上。
高真空機器
| ・アルミ製高真空L 型バルブ | XL Series |
| ・アルミ製ワンタッチ着脱高真空L 型バルブ | XLAQ・XLDQ Series |
| ・ステンレス製高真空L 型/ストレート型バルブ | XM/XY Series |
| ・スリットバルブ | XGT Series |
| ・300mmウエハ対応平行スリットバルブ | XGTP Series |

蓚酸アルマイト処理により塩酸ガスに対する腐食性が向上。
高真空機器
| ・アルミ製高真空L 型バルブ | XL Series |
| ・アルミ製ワンタッチ着脱高真空L 型バルブ | XLAQ・XLDQ Series |
| ・ステンレス製高真空L 型/ストレート型バルブ | XM/XY Series |
| ・スリットバルブ | XGT Series |
| ・300mmウエハ対応平行スリットバルブ | XGTP Series |