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サーモチラー(循環液温調装置)高機能タイプ 高機能インバータタイプ

水冷却式サーモチラー/高機能タイプ HRW

    ・工場内循環水との直接熱交換器。
    ・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
    ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で
     半導体プロセス装置に実績多数。
    ・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
    ・インバータタイプの選択可能。

    ※貸出サンプルをご用意しています。
     最寄りの営業所へお申し付けください。

     営業所一覧
  • 水冷却式サーモチラー/高機能タイプ HRW
    取扱説明書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRW2kW, 8kW
    15kW, 30kW
    検索結果を表示
  • 水冷却式サーモチラー/高機能タイプ HRW
    自己宣言書
    シリーズ 冷却能力 検索結果を表示
    HRW2kW, 8kW
    15kW, 30kW
    検索結果を表示
シリーズ設定温度
範囲
冷却能力温度
安定性
冷却方式循環液
HRW20~90℃2kW, 8kW
15kW, 30kW
±0.3℃水冷却式
(冷凍機なし)
フッ素化液
清水
脱イオン水(純水)
エチレングリコール水溶液(60%)

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