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プロセスガス用機器

減圧弁（圧力調整器）　高純度プロセスガス用 AP/SL/AP/AZ

    ・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
    ・ボディ材質はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
    ・接ガス部電解研磨処理。
    ・外部メタルシール構造。
安全上のご注意　プロセスガス用機器/共通注意事項　バリエーション
推奨機種　技術資料/用語解説　特定開発品情報　グリーン対応（RoHS）
シリーズ形式用途ボディ材質配管接続配管サイズ
AP/SL一段式ライン用（小型）SUS316L
ダブルメルト		フェースシール継手
チューブ溶接		1/4''，3/8''
AP/SL一段式ライン用SUS316L
ダブルメルト		フェースシール継手
チューブ溶接		1/4''，3/8''
1/2''，3/4''
AP/SL一段式バルクガス用SUS316Lフェースシール継手
チューブ溶接		1/2''，3/4''，1''
AP/SL一段式一次側高圧用SUS316L
ダブルメルト		フェースシール継手
チューブ溶接		1/4''，3/8''
1/2''，3/4''
AP/SL一段式負圧調整SUS316L
ダブルメルト		フェースシール継手
チューブ溶接		1/4''，3/8''
1/2''，3/4''
AP二段式一次側高圧用SUS316L
ダブルメルト		フェースシール継手
チューブ溶接		1/4''，3/8''
AZ一段式ライン用SUS316Lフェースシール継手
チューブ溶接		1/4''，3/8''
1/2''
AZ一段式一次側高圧用SUS316Lフェースシール継手
チューブ溶接		1/4''，3/8''
1/2''
AZ一段式負圧調整SUS316Lフェースシール継手
チューブ溶接		1/4''，3/8''
1/2''

製品特長

減圧弁（圧力調整器）　高純度プロセスガス用 AP/SL/AZ Series

半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。ボディ材質はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
接ガス部電解研磨処理。外部メタルシール構造。

減圧弁（圧力調整器）／背圧弁　一般ガス用 AK/BP Series

半導体から一般産業まで幅広い用途に使用可能なスタンダードモデル。流体に応じボディ材質はSUS316または黄銅の選択が可能

ダイヤフラムバルブ　高純度プロセスガス用 AP Series

半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。ガスの遮断弁として使用。接ガス部にスプリングがなく、
駆動部もダイヤフラムにより隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。

チェック弁／バキュームジェネレータ／フロースイッチ AP Series

チェック弁

背圧による流体の逆流を防止。内部可動部品はＯリングのみのシンプル構造。スプリングレス構造により振動、
チャタリング等によるパーティクルの発生、下流側の圧力変動を抑制。

バキュームジェネレータ

真空発生機器。ガスボンベ交換時、配管中に残った不要なガスの排出用途に対応。

フロースイッチ

配管の破断等による過剰流量の検出

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