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プロセスガス用機器
ダイヤフラムバルブ 高純度プロセスガス用 AP
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・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
・ガスの遮断弁として使用。
・接ガス部にスプリングがなく、駆動部もダイヤフラムにより隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。
シリーズ | タイプ | ボディ材質 | 配管接続 | 配管サイズ |
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AP | エアオペレートタイプ | SUS316L ダブルメルト | フェースシール継手 チューブ溶接 | 1/4'',3/8'' 1/2'',3/4'' |
AP | マニュアルタイプ | SUS316L ダブルメルト | フェースシール継手 チューブ溶接 | 1/4'',3/8'' 1/2'',3/4'' |
製品特長
■減圧弁(圧力調整器) 高純度プロセスガス用 AP/SL/AZ Series
半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。ボディ材質はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
接ガス部電解研磨処理。外部メタルシール構造。
■ダイヤフラムバルブ 高純度プロセスガス用 AP Series
半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。ガスの遮断弁として使用。接ガス部にスプリングがなく、
駆動部もダイヤフラムにより隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。