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IN_PROD_346
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对应300mm晶片的平行密封型缝阀 XGTP
高真空元件 » 缝阀／门式阀
| 系列 | 使用压力范围（Pa） | 使用流体 | 门尺寸 （高×宽）（mm） | 动作压力 （MPa） |
|---|---|---|---|---|
| XGTP | 大气压～10-6 | 惰性气体 | 50×336 | 0.45～0.6 |
铝制高真空L型阀 XL□
高真空元件 » 高真空阀
| 系列 | 操作方式 | 阀形式 | 轴密封 方式 | 用途 | 法兰 尺寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| XLA | 气控 | 单作用 （N.C.） | 波纹管密封 | 防尘 净化 | 16～160 |
| XLAV（带电磁阀） | 气控 | 单作用 （N.C.） | 波纹管密封 | 除尘 净化 | 16～160 |
| XLC | 气控 | 双作用 | 波纹管密封 | 除尘 净化 | 16～160 |
| XLCV（带电磁阀） | 气控 | 双作用 | 波纹管密封 | 除尘 净化 | 16～80 |
| XLF | 气控 | 单作用 （N.C.） | O形圈密封 | 高速动作 高动作次数 | 16～160 |
| XLFV（带电磁阀） | 气控 | 单作用 （N.C.） | O形圈 | 高速动作 高动作次数 | 16～160 |
| XLG | 气控 | 双作用 | O形圈 | 高速动作 高动作次数 | 16～160 |
| XLGV（带电磁阀） | 气控 | 双作用 | O形圈 | 高速动作 高动作次数 | 16～80 |
| XLD | 气控 | 单作用 （N.C.） | 波纹管密封 O形圈密封 | 防止扬尘 防止泵过载 | 25～160 |
| XLDV（带电磁阀） | 气控 | 单作用 （N.C.） | 波纹管密封 O形圈密封 | 防止扬尘 防止泵过载 | 25～160 |
| XLH | 手动 | 手动 | 波纹管密封 | 除尘 净化 | 16～50 |
| XLS | 电磁式 | 单作用 （N.C.） | (波纹管平衡) | 无需空气 可搬运装置用 | 16，25 |
不锈钢制高真空L型／直通型阀 XM/XY
高真空元件 » 高真空阀
| 系列 | 操作方式 | 轴密封 方式 | 阀形式 | 材质 | 法兰 尺寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| XMA/XYA | 气控 | 波纹管密封 | 单作用 （N.C.） | 主体：SCS13（相当于SUS304） 波纹管：SUS316L | 16～80 注） |
| XMC/XYC | 气控· | 波纹管密封 | 双作用 | 主体：SCS13（相当于SUS304） 波纹管：SUS316L | 16～80 注） |
| XMD/XYD | 气控 | 波纹管密封 O形圈密封 | 单作用 （N.C.） | 主体：SCS13（相当于SUS304） 波纹管：SUS316L | 25～80 |
| XMH/XYH | 手动 | 波纹管密封 | 手动 | 主体：SCS13（相当于SUS304） 波纹管：SUS316L | 16～50 注） |
平稳排气阀 XVD
高真空元件 » 高真空阀无润滑脂 氮气（N2）对应元件 » 高真空阀
| 系列 | 阀形式 | 使用流体 | 配管连接方式 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| XVD | 常闭 （加压开・弹簧密封） | 氮气、空气、 惰性气体等 | VCR® Swagelok® | 1/4B |
