功能板单体(真空发生器系统用) 适用于ZR系列
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配管规格
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1(表示记号:PV←→PS←→PD;PV通口:共通;PS通口:共通;PD通口:共通)
2(表示记号:PV←→PS·PD;PV通口:共通;PS通口:共通;PD通口:单独)
3(表示记号:PV·PS←→PD;PV通口:单独;PS·PD通口:共通)
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