プロセスガス用機器
減圧弁(圧力調整器) 高純度プロセスガス用 AP/SL/AP/AZ
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・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
・ボディ材質はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
・接ガス部電解研磨処理。
・外部メタルシール構造。
シリーズ | 形式 | 用途 | ボディ材質 | 配管接続 | 配管サイズ |
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AP/SL | 一段式 | ライン用(小型) | SUS316L ダブルメルト | フェースシール継手 チューブ溶接 | 1/4'',3/8'' |
AP/SL | 一段式 | ライン用 | SUS316L ダブルメルト | フェースシール継手 チューブ溶接 | 1/4'',3/8'' 1/2'',3/4'' |
AP/SL | 一段式 | バルクガス用 | SUS316L | フェースシール継手 チューブ溶接 | 1/2'',3/4'',1'' |
AP/SL | 一段式 | 一次側高圧用 | SUS316L ダブルメルト | フェースシール継手 チューブ溶接 | 1/4'',3/8'' 1/2'',3/4'' |
AP/SL | 一段式 | 負圧調整 | SUS316L ダブルメルト | フェースシール継手 チューブ溶接 | 1/4'',3/8'' 1/2'',3/4'' |
AP | 二段式 | 一次側高圧用 | SUS316L ダブルメルト | フェースシール継手 チューブ溶接 | 1/4'',3/8'' |
AZ | 一段式 | ライン用 | SUS316L | フェースシール継手 チューブ溶接 | 1/4'',3/8'' 1/2'' |
AZ | 一段式 | 一次側高圧用 | SUS316L | フェースシール継手 チューブ溶接 | 1/4'',3/8'' 1/2'' |
AZ | 一段式 | 負圧調整 | SUS316L | フェースシール継手 チューブ溶接 | 1/4'',3/8'' 1/2'' |
減圧弁(圧力調整器)/背圧弁 一般ガス用 AK/BP
シリーズ | 形式 | 用途 | ボディ材質 | 配管接続 | 配管サイズ |
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AK | 一段式 | ライン用 | SUS316 または黄銅 | NPTめねじ コンプレッション 継手 | 1/4'',3/8'' 1/2'' |
AK | 一段式 | 一次側高圧用 | SUS316 または黄銅 | NPTめねじ コンプレッション 継手 | 1/4'',3/8'' 1/2'' |
AK | 一段式 | 負圧調整 | SUS316 または黄銅 | NPTめねじ コンプレッション 継手 | 1/4'',3/8'' 1/2'' |
AK | 二段式 | 一次側高圧用 | SUS316 または黄銅 | NPTめねじ コンプレッション 継手 | 1/4'' |
BP | 背圧弁 | ― | SUS316 または黄銅 | NPTめねじ コンプレッション 継手 | 1/4'' |
ダイヤフラムバルブ 高純度プロセスガス用 AP
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・半導体産業等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
・ガスの遮断弁として使用。
・接ガス部にスプリングがなく、駆動部もダイヤフラムにより隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。
シリーズ | タイプ | ボディ材質 | 配管接続 | 配管サイズ |
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AP | エアオペレートタイプ | SUS316L ダブルメルト | フェースシール継手 チューブ溶接 | 1/4'',3/8'' 1/2'',3/4'' |
AP | マニュアルタイプ | SUS316L ダブルメルト | フェースシール継手 チューブ溶接 | 1/4'',3/8'' 1/2'',3/4'' |
ダイヤフラムバルブ 高純度プロセスガス用 AZ
シリーズ | タイプ | ボディ材質 | 配管接続 | 配管サイズ |
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AZ | エアオペレートタイプ | SUS316L | フェースシール継手 チューブ溶接 | 1/4'' 3/8'' 1/2 |
AZ | マニュアルタイプ | SUS316L | フェースシール継手 チューブ溶接 | 1/4'' 3/8'' 1/2 |
チェック弁/バキュームジェネレータ/フロースイッチ AP
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[チェック弁]
・背圧による流体の逆流を防止。
・内部可動部品はOリングのみのシンプル構造。
・スプリングレス構造により振動、チャタリング等によるパーティクルの発生、下流側の圧力変動を抑制。
[バキュームジェネレータ]
・真空発生機器。
・ガスボンベ交換時、配管中に残った不要なガスの排出用途に対応。
[フロースイッチ]
・配管の破断等による過剰流量の検出。
シリーズ | タイプ | ボディ材質 | 配管接続 | 配管サイズ |
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AP | チェック弁 | SUS316Lダブルメルト | フェースシール継手 チューブ溶接 | 1/4'',3/8'' |
AP | バキュームジェネレータ | SUS316L | フェースシール継手 チューブ溶接 | 1/4'',3/8'' |
AP | フロースイッチ | SUS316Lダブルメルト SUS316L | フェースシール継手 チューブ溶接 | 1/2'',3/4'' |
ダイヤフラムバルブ 一般ガス用 AK
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・配管接続にRc, R, NPTをシリーズ化
・半導体から一般産業用途まで使用可能なスタンダードモデル
・精密洗浄を実施
・アクチュエータの高さを低くして、製品の小型、軽量化を実現(AK3542, 4542)
・操作ポートM5ねじ(AK3542, 4542)
・ハンドル構造の改良により、製品の小型、軽量化を実現(AK3652, 4652)
・ツマミ付丸ハンドルの採用により操作性、視認性がアップ(AK3652, 4652)
シリーズ | タイプ | ボディ材質 | 配管接続 | 配管サイズ |
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AK | エアオペレートタイプ | SUS316 | コンプレッション継手 Rc, R, NPT | 1/4'',3/8'' |
AK | マニュアルタイプ | SUS316 | コンプレッション継手 Rc, R, NPT | 1/4'',3/8'' |
減圧弁/一般ガス用 AK1000T
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・半導体から一般産業用途まで使用可能なスタンダードモデル
・製品の小型、軽量化を実現
質量:0.52kg、高さ:97.5mm
・内部容積の小設計化でガス溜まりを低減
・配管バリエーション
コンプレッション継手、NPTめねじ、Rcねじから選択可
シリーズ | タイプ | ボディ材質 | 配管接続 | 配管サイズ |
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AK1000T | マニュアルタイプ | SUS316 | コンプレッション継手 Rc, NPT | 1/4'',3/8'' |